[发明专利]多发光单元半导体激光器空间光束轮廓的测试方法及装置

权利要求书

1.多发光单元半导体激光器空间光束轮廓的测试方法包括以下步骤：

（1）步骤一：将多发光单元半导体激光器出射的光进行分束，分成光束A及光束B；

（2）步骤二：对光束A在快轴方向上进行光学放大，使用图像传感器M探测光束A中各个发光单元的强度，并探测各个发光单元在快轴方向的相对位置偏移，测试图像参数记录为S1；

（3）步骤三：对光束B在慢轴方向上进行光学放大，使用图像传感器N探测光束B各个发光单元的强度，并探测各个发光单元在慢轴方向的相对位置偏移，测试图像参数记录为S2；

（4）步骤四：通过工控机将步骤二所得的测试图像参数S1及步骤三所得的测试图像参数S2进行图像合成，该合成图像即为多发光单元半导体激光器空间光束轮廓，图像参数记录为S3。

2.根据权利要求1所述的多发光单元半导体激光器空间光束轮廓的测试方法，其特征在于：步骤一中，所述的光束A和光束B的光强比为1:1。

3.根据权利要求1所述的多发光单元半导体激光器空间光束轮廓的测试方法，其特征在于：所述的步骤二中图像传感器M为电荷耦合器件或者互补性金属氧化物半导体传感器，所述的步骤三中图像传感器N为电荷耦合器件或者互补性金属氧化物半导体传感器。

4.多发光单元半导体激光器空间光束轮廓的测试装置，其特征在于：包括多发光单元半导体激光器，分光镜，快轴放大成像系统，慢轴放大成像系统，图像传感器M，图像传感器N，工控机；所述的分光镜设置在多发光单元半导体激光器的出光位置，将多发光单元半导体激光器出射的光分成光束A和光束B；所述快轴放大成像系统设置在光束A传播方向，用于对光束A在快轴方向进行放大成像；所述图像传感器M设置在快轴放大成像系统后端，用于探测经快轴放大成像系统后的光束A的强度分布及光束A中的各个发光单元的相对位置偏移；所述的慢轴放大成像系统设置在光束B传播方向上，用于将光束B在慢轴方向进行放大成像，所述的图像传感器N设置在慢轴放大成像系统后端，用于探测经慢轴放大成像系统后的光束B强度分布及光束B中的各个发光单元的相对位置偏移；所述的工控机与图像传感器M及图像传感器N进行连接。

5.根据权利要求4所述的多发光单元半导体激光器空间光束轮廓的测试装置，其特征在于：所述的图像传感器M为电荷耦合器件或者互补性金属氧化物半导体传感器；图像传感器N为电荷耦合器件或者互补性金属氧化物半导体传感器。

6.根据权利要求4所述的多发光单元半导体激光器空间光束轮廓的测试装置，其特征在于：还包括反射镜，所述的反射镜设置在光束A的出射方向用于将光束A的发射光方向旋转90度后入射至快轴放大成像系统；或者所述的反射镜设置在光束B的出射方向用于将光束B的发射光方向旋转90度后入射至慢轴放大成像系统。

7.根据权利要求4所述的多发光单元半导体激光器空间光束轮廓的测试装置，其特征在于：光束A和光束B的光强比例为1：1。

8.根据权利要求4所述的多发光单元半导体激光器空间光束轮廓的测试装置，其特征在于：所述慢轴放大系统为远心镜成像系统。