[发明专利]光学微结构的制造方法、机台及其导光板

权利要求书

1.一种多模镭射加工机台的光学微结构制造方法，其特征在于，其步骤包括：

提供一基板；

照射一第一激光束及一第二激光束至一合束镜，且该第一激光束与该第二激光束具有相异镭射模态；及

通过该合束镜的该第一激光束及该第二激光束重合照射至该基板，该第一激光束于该基板形成一微型凹部，并同时于该微型凹部周侧产生一喷溅区，该第二激光束则轰击该喷溅区并形成一凹陷部，且该凹陷部的深度小于该微型凹部的深度。

2.如权利要求1所述的多模镭射加工机台的光学微结构制造方法，其特征在于，该第一激光束及该第二激光束的横模图像为旋转对称，且在照射至该基板时，该第一激光束及该第二激光束的横模图像电磁场分布状态为相互错开。

3.如权利要求2所述的多模镭射加工机台的光学微结构制造方法，其特征在于，该第二激光束的横模图像为复数不相连花瓣状排列区块。

4.如权利要求1所述的多模镭射加工机台的光学微结构制造方法，其特征在于，该基板为一金属模具。

5.一种用以执行如权利要求1所述的多模镭射加工机台的光学微结构制造方法的多模镭射机台，其特征在于，包括：

一第一镭射共振腔，用以产生该第一激光束；

一第二镭射共振腔，用以产生该第二激光束；

一承载平台，用以容置该基板；及

一加工机组，包括该合束镜及一传动件，该传动件用以根据一光学微结构分布设计数据，利用经该合束镜重合的该第一激光束与该第二激光束，加工该基板。

6.如权利要求7所述的多模镭射机台，其特征在于，该第一激光束及该第二激光束的横模图像为旋转对称，且于照射至该基板时，该第一激光束及该第二激光束的横模图像电磁场分布状态为相互错开。

7.一种导光板，其特征在于：

具有复数个光学微结构，任一该等光学微结构透过如权利要求4所述的多模镭射加工机台的光学微结构制造方法制成，因而具有该微型凹部，及环状排列于该喷溅区的该些凹陷部，且该些凹陷部呈不相连花瓣状排列。