[发明专利]层叠体的剥离装置和剥离方法及电子器件的制造方法

权利要求书

1.一种层叠体的剥离装置，其特征在于，

该层叠体的剥离装置包括：

倾斜单元，其使层叠体相对于水平方向倾斜，该层叠体通过以能够剥离的方式隔着吸附层粘贴第1基板和第2基板而成；

液体供给单元，其利用液体充满倾斜着的上述层叠体的至少上端部侧的侧面；以及

剥离单元，其自倾斜着的上述层叠体的上端部朝向下端部地在上述第1基板与上述吸附层之间的界面内使层叠体剥离。

2.一种层叠体的剥离装置，对于以能够剥离的方式隔着吸附层粘贴第1基板和第2基板而成的层叠体，使上述第1基板和上述第2基板中的至少一个基板沿着自其一端侧朝向另一端侧的剥离行进方向挠曲，从而在上述第1基板与上述吸附层之间的界面内进行剥离，其特征在于，

该层叠体的剥离装置包括：

剥离组合体，其包括保持上述第1基板的第1保持构件、保持上述第2基板的第2保持构件、以及包围上述层叠体的第1框体，使由上述第1保持构件、上述第2保持构件、以及上述第1框体围成的空间部构成为液槽；

倾斜单元，其使上述剥离组合体相对于水平方向倾斜；

液体供给单元，其向上述剥离组合体的上述液槽供给液体，利用液体充满上述层叠体的侧面；以及

剥离单元，其使上述第1保持构件和上述第2保持构件中的至少一个保持构件沿着自上端部朝向下端部的上述剥离行进方向挠曲。

3.根据权利要求2所述的层叠体的剥离装置，其中，

在上述第1框体的内侧具有上述液体的供给孔。

4.根据权利要求2或3所述的层叠体的剥离装置，其中，

上述剥离组合体具有包围上述第1框体的第2框体，

在上述第1框体与上述第2框体之间具有排水孔。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的层叠体的剥离装置，其中，

上述液体为水。

6.一种层叠体的剥离方法，其特征在于，

该层叠体的剥离方法包括：

倾斜工序，使层叠体相对于水平方向倾斜，该层叠体通过以能够剥离的方式隔着吸附层粘贴第1基板和第2基板而成；

液体供给工序，利用液体充满倾斜着的上述层叠体的至少上端部侧的侧面；以及

剥离工序，自倾斜着的上述层叠体的上端部朝向下端部地在上述第1基板与上述吸附层之间的界面内使层叠体剥离，

在上述剥离工序中，自上述层叠体的外部连续地供给上述液体，上述液体一边在重力的作用下在上述界面中因剥离而依次呈现的剥离面上向下方移动，一边湿润上述剥离面。

7.一种层叠体的剥离方法，对于以能够剥离的方式隔着吸附层粘贴第1基板和第2基板而成的层叠体，使上述第1基板和上述第2基板中的至少一个基板沿着自其一端侧朝向另一端侧的剥离行进方向挠曲，从而在上述第1基板与上述吸附层之间的界面内进行剥离，其特征在于，

该层叠体的剥离方法使用剥离组合体，该剥离组合体包括保持上述第1基板的第1保持构件、保持上述第2基板的第2保持构件、以及包围上述层叠体的第1框体，使由上述第1保持构件、上述第2保持构件、以及上述第1框体围成的空间部构成为液槽，

该层叠体的剥离方法包括：

倾斜工序，使上述剥离组合体相对于水平方向倾斜；

液体供给工序，向上述剥离组合体的上述液槽供给液体，利用液体充满上述层叠体的侧面；以及

剥离工序，使上述第1保持构件和上述第2保持构件中的至少一个保持构件沿着自上端部朝向下端部的上述剥离行进方向挠曲，

在上述剥离工序中，自上述层叠体的外部连续地供给上述液体，上述液体一边在重力的作用下在上述界面中因剥离而依次呈现出的剥离面上向下方移动，一边湿润上述剥离面。

8.根据权利要求7所述的层叠体的剥离方法，其中，

在上述第1框体的内侧具有上述液体的供给孔，自上述供给孔向上述液槽供给液体。

9.根据权利要求7或8所述的层叠体的剥离方法，其中，

上述剥离组合体具有包围上述第1框体的第2框体，

在上述第1框体与上述第2框体之间具有排水孔，

自上述第1框体溢出的上述液体自上述排水孔排出。

10.根据权利要求6～9中任一项所述的层叠体的剥离方法，其中，

上述吸附层为聚酰亚胺树脂层，上述液体为水。