[发明专利]透明导电薄膜的制备方法在审
| 申请号: | 201510288593.0 | 申请日: | 2015-05-29 |
| 公开(公告)号: | CN104953001A | 公开(公告)日: | 2015-09-30 |
| 发明(设计)人: | 王群;郭炳磊;董彬忠;李鹏;王江波 | 申请(专利权)人: | 华灿光电(苏州)有限公司 |
| 主分类号: | H01L33/42 | 分类号: | H01L33/42 |
| 代理公司: | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人: | 徐立 |
| 地址: | 215600 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 透明 导电 薄膜 制备 方法 | ||
1.一种透明导电薄膜的制备方法,其特征在于,所述方法包括:
提供一基底;
对石墨烯溶液进行超声振荡处理5-10min,所述石墨烯溶液的浓度为1-10mg/L;
使用所述石墨烯溶液作为原料,采用热烘烤工艺、甩胶工艺或者提拉工艺在所述基底上生成石墨烯透明导电薄膜。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述石墨烯溶液由商用石墨烯酒精溶液稀释而成。
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述使用所述石墨烯溶液作为原料,采用热烘烤工艺、甩胶工艺或者提拉工艺在所述基底上生成石墨烯透明导电薄膜,包括:
将所述基底放入所述石墨烯溶液中;
将所述石墨烯溶液放置于热烘箱中,在30-150℃下烘烤3-15h,得到所述石墨烯透明导电薄膜。
4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述使用所述石墨烯溶液作为原料,采用热烘烤工艺、甩胶工艺或者提拉工艺在所述基底上生成石墨烯透明导电薄膜,包括:
将所述基底放置于甩胶机上;
将所述石墨烯溶液滴在所述基底上,直至所述石墨烯溶液铺满所述基底;
控制所述甩胶机的转速为1000-3000转/min,甩胶处理30-90s;
将甩胶处理后的所述基底放在热台上烘干得到所述石墨烯透明导电薄膜,热台温度为50-150℃,烘干时间为2-5min。
5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述使用所述石墨烯溶液作为原料,采用热烘烤工艺、甩胶工艺或者提拉工艺在所述基底上生成石墨烯透明导电薄膜,包括:
将所述基底放入所述石墨烯溶液中;
将所述石墨烯溶液放置于提拉机上,对所述石墨烯溶液中的所述基底进行提拉处理,提拉速度为0.02-5μm/h;
将提拉处理后的所述基底放在热台上烘干得到所述石墨烯透明导电薄膜,热台温度为50-150℃,烘干时间为2-5min。
6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述方法还包括:清洗所述基底。
7.根据权利要求6所述的方法,其特征在于,所述清洗所述基底,包括:
采用有机溶剂超声清洗所述基底5-10min;
采用去离子水冲洗所述基底1-5min;
对所述基底进行甩干和烘干处理。
8.根据权利要求7所述的方法,其特征在于,所述有机溶剂为酒精、丙酮或异丙醇。
9.根据权利要求1-8任一项所述的方法,其特征在于,所述方法还包括:
提供衬底并在所述衬底上依次生长缓冲层、N型层、发光层和P型层,得到所述基底。
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