[发明专利]一种镀膜玻璃及其制备方法

权利要求书

1.一种镀膜玻璃，其特征在于，所述镀膜玻璃包括玻璃基底和形成于所述玻璃基底上的膜层，所述膜层自所述玻璃基底向外依次为：第一复合介质层、第一红外反射层、第一阻挡层、第二复合介质层、第二红外反射层、第二阻挡层、第三复合介质层、第三红外反射层、第三阻挡层和第四复合介质层，其中所述第一阻挡层、第二阻挡层和第三阻挡层是采用直流电源溅射金属氧化物陶瓷靶制备得到的，所述金属氧化物陶瓷靶选自AZO、TiO_x或NiCrO_x，且为旋转靶。

2.根据权利要求1所述的镀膜玻璃，其特征在于，所述第一阻挡层、第二阻挡层和第三阻挡层的厚度各自为0.5~5nm。

3.根据权利要求1所述的镀膜玻璃，其特征在于，所述第一红外反射层、第二红外反射层和第三红外反射层为银或银合金；

优选地，所述第一红外反射层、第二红外反射层和第三红外反射层为银合金，所述银合金的主要成分为银，并包括金、钛、钯、铜和铌中的至少一种元素，其中所述金、钛、钯、铜和铌中的至少一种元素的含量占银合金总量的0.3~10at.%；

优选地，所述第一红外反射层、第二红外反射层和第三红外反射层的厚度各自为5~15nm。

4.根据权利要求1所述的镀膜玻璃，其特征在于，所述第一复合介质层、第二复合介质层、第三复合介质层和第四复合介质层为Si₃N₄、SnO₂、Zn₂SnO₄、Nb₂O₅和ZnAlO_x中两种以上组合膜层；

优选地，所述第一复合介质层、第二复合介质层、第三复合介质层和第四复合介质层的厚度各自为10~85nm。

5.根据权利要求1所述的镀膜玻璃，其特征在于，所述镀膜玻璃在第四复合介质层外还包括保护层，所述保护层为TiO₂、Si₃N₄、SiN_xO_y或ZrO₂的至少一种，厚度为5~30nm。

6.一种制备权利要求1-5任一项所述的镀膜玻璃的方法，其特征在于，所述方法包括：在玻璃基底上通过溅射形成自所述玻璃基底向外依次为下列顺序的膜层：第一复合介质层、第一红外反射层、第一阻挡层、第二复合介质层、第二红外反射层、第二阻挡层、第三复合介质层、第三红外反射层、第三阻挡层和第四复合介质层，所述方法采用直流电源溅射金属氧化物陶瓷靶制备所述第一阻挡层、第二阻挡层和第三阻挡层，所述金属氧化物陶瓷靶选自AZO、TiO_x或NiCrO_x，且为旋转靶。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，若选用AZO作为阻挡层的靶材，则使用纯氩气作为溅射气体，不加反应气体；若选用TiO_x或NiCrO_x作为阻挡层的靶材，则使用氩气和氧气的混合气体作为溅射气体，其中氧气的体积含量小于等于10%，优选小于等于7%；

优选地，所述第一阻挡层、第二阻挡层和第三阻挡层的厚度各自为0.5~5nm。

8.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述方法采用直流电源和平面阴极在氩气氛围下溅射沉积形成第一红外反射层、第二红外反射层和第三红外反射层；

优选地，所述第一红外反射层、第二红外反射层和第三红外反射层的厚度各自为5~15nm；

优选地，所述第一红外反射层、第二红外反射层和第三红外反射层为银或银合金；

优选地，所述第一红外反射层、第二红外反射层和第三红外反射层为银合金，所述银合金的主要成分为银，并包括金、钛、钯、铜和铌中的至少一种元素，其中所述金、钛、钯、铜和铌中的至少一种元素的含量占银合金总量的0.3~10at.%。