[发明专利]角速度传感器在审
| 申请号: | 201510274848.8 | 申请日: | 2015-05-26 |
| 公开(公告)号: | CN105318866A | 公开(公告)日: | 2016-02-10 |
| 发明(设计)人: | 名取宏文;远池健一;海野晶裕;青柳岳 | 申请(专利权)人: | TDK株式会社 |
| 主分类号: | G01C19/56 | 分类号: | G01C19/56 |
| 代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦;黄贤炬 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 角速度 传感器 | ||
1.一种角速度传感器,其特征在于:
是具有固定有压电元件的驱动臂的角速度传感器,
所述压电元件具备:
压电体膜;
第1电极膜,其设置在所述压电体膜的一个面侧;
第2电极膜,其设置在所述压电体膜的另一个面侧,
在令垂直于所述驱动臂的长边方向和所述压电体膜的厚度方向两者的方向为宽度方向的情况下,
所述第1电极膜的宽度方向的尺寸La、所述第2电极膜的宽度方向的尺寸Lc、所述压电体膜的宽度方向的尺寸Lb满足以下关系:
Lc×0.95≤La≤Lc×1.05
Lb<La、Lb<Lc。
2.如权利要求1所述的角速度传感器,其特征在于:
所述压电元件还具备有机树脂膜,所述有机树脂膜设置成至少抵接于:
沿着包含所述压电体膜的长边方向和厚度方向两者的平面的侧面;
是位于比所述压电体膜更靠宽度方向的外侧的位置的所述第2电极膜的表面区域,且与所述第1电极膜相对的区域;以及
是位于比所述压电体膜更靠宽度方向的外侧的位置的所述第1电极膜的表面区域,且与所述第2电极膜相对的区域。
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