[发明专利]一种基于压电单晶面切模式的柱状旋转超声微电机

权利要求书

1.一种基于压电单晶面切模式的柱状旋转超声微电机，由定子组件和转子组件构成，其特征在于，所述定子组件包括至少四个压电单晶面切模式振子、用于支承所述振子的定子支架，所述振子的形状为方形平板状，所述定子支架的外部形状为正多棱柱，所述振子的上表面和下表面均镀有电极，各个所述振子的上表面所在平面分别与所述正多棱柱的各个侧面重合，电机的转轴线与所述正多棱柱的中心线重合；所述转子组件包括转子、转子轴、轴承；所述转子、所述转子轴、所述轴承为同心结构；所述转子轴与所述轴承的内圈固定，所述轴承的外圈固定在所述定子支架上。

2.根据权利要求1所述的一种基于压电单晶面切模式的柱状旋转超声微电机，其特征在于，所述振子为四个，每个振子都与相邻的两个振子垂直。

3.根据权利要求1所述的一种基于压电单晶面切模式的柱状旋转超声微电机，其特征在于，所述转子与所述振子的驱动足紧密接触以使所述振子有预压力作用在所述转子上。

4.根据权利要求1所述的一种基于压电单晶面切模式的柱状旋转超声微电机，其特征在于，所述轴承包括第一轴承和第二轴承。

5.根据权利要求4所述的一种基于压电单晶面切模式的柱状旋转超声微电机，其特征在于，所述转子、所述第一轴承、所述第二轴承为同心结构；所述转子轴与所述第一轴承和所述第二轴承的内圈紧配合装配，所述第一轴承与所述第二轴承的外圈紧配合装配在所述定子支架上。

6.根据权利要求1所述的一种基于压电单晶面切模式的柱状旋转超声微电机，其特征在于，所述振子材料为铁电单晶材料。

7.根据权利要求6所述的一种基于压电单晶面切模式的柱状旋转超声微电机，其特征在于，所述铁电单晶材料为PZN-PT、PMN-PT、PIN-PMN-PT、掺锰PMN-PT或掺锰PIN-PMN-PT铁电单晶材料中的任一种。