[发明专利]防酸、碱腐蚀的保护罩及其使用方法

权利要求书

1.一种防酸、碱腐蚀的保护罩，由顶板、底板、转接柱、提手、提手螺钉、紧固螺钉、玻璃管、O型橡胶圈和芯片几个部分组成，顶板和底板通过紧固螺钉固定连接；顶板中心上表面有一个带台阶的通孔，台阶处有一个凹槽，上通孔内有内螺纹，具有中心通孔的转接柱位于顶板的上通孔内，玻璃管插入转接柱的中心通孔中，在玻璃管的外壁上刻有标度尺，用于观察液体表面上升和下降情况；顶板的下表面具有一个圆形凹坑和一个环形凹槽；底板中心有一个通孔，底板与顶板相邻的一面有一个环形凹槽和一个沉下去的圆形凹坑，环形凹槽位于圆形凹坑的边缘内侧，与圆形凹坑同心，其最大直径小于芯片的外径；顶板下表面的圆形坑和地板上的圆形凹坑组成了容纳芯片的空间，其中，芯片和顶板和底板之间用全氟的O型橡胶圈进行密封连接，转接柱与顶板之间形成防酸、防碱的密封连接。

2.如权利要求1中所述的防酸、碱腐蚀的保护罩，其中顶板、底板、转接柱、提手、提手螺钉、紧固螺钉均采用耐高温、耐强酸和耐强碱的材料制成。

3.如权利要求2中所述的防酸、碱腐蚀的保护罩，其中顶板、底板、转接柱、提手、提手螺钉、紧固螺钉均采用聚四氟乙烯材料制成。

4.如权利要求1中所述的防酸、碱腐蚀的保护罩，其中圆形凹坑是圆形等高的，或是圆形渐变的，用于使芯片的一面不会与顶板相互接触。

5.如权利要求1中所述的防酸、碱腐蚀的保护罩，其中玻璃管中液体的液面高于腐蚀液的液面，玻璃管中的液体为纯水。

6.如权利要求1中所述的防酸、碱腐蚀的保护罩，其中O型橡胶圈的材质选用全氟橡胶，或者是三元乙丙橡胶。

7.如权利要求1中所述的防酸、碱腐蚀的保护罩，其中芯片是硅片或SOI片。

8.如权利要求1中所述的防酸、碱腐蚀的保护罩的使用方法，包括：首先把两个O型橡胶圈分别放置于顶板和底板的环形凹槽内，其次把硅片放置于底板的圆形凹坑内，而后将顶板盖在底板的上面进行装配，二者通过紧固螺钉来密封连接；最后将转接柱、玻璃管以及提手、提手螺钉装配在顶板和底板的相应位置上，并且，需将上盖板中心的圆形凹槽内注水，以防腐蚀液渗入胶圈内侧直接腐蚀硅片，然后将装配好的保护罩放入腐蚀液，确保腐蚀液的液面高度低于转接柱的顶端；用滴管将纯水缓缓滴入玻璃管中，确保在玻璃管中的纯水的液面远远高于腐蚀液的液面，开始进行腐蚀过程，当观察到玻璃管中的液面迅速下降时立即将保护罩从腐蚀液中取出，常规漂洗后，将芯片取出，完成腐蚀过程。