[发明专利]下电极以及半导体加工设备有效
| 申请号： | 201510266517.X | 申请日： | 2015-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN106298420B | 公开（公告）日： | 2018-09-18 |
| 发明（设计）人： | 郑友山 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电极 以及 半导体 加工 设备 | ||
【权利要求书】：
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