[发明专利]一种微电子表面耐酸涂层及其制备方法

说明书

技术领域

    本发明涉及化学涂层领域，尤其涉及一种微电子表面耐酸涂层及其制备方法。

背景技术

    微电子技术是高科技和信息产业的核心技术。微电子产业是基础性产业，之所以发展得如此之快，除了技术本身对国民经济的巨大贡献之外，还与它极强的渗透性有关。另外，现代战争将是以集成电路为关键技术、以电子战和信息战为特点的高技术战争。

70年代，微电子技术进入了以大规模集成电路为中心的新阶段。随着集成密度日益提高，集成电路正向集成系统发展，电路的设计也日益复杂、费时和昂贵。实际上如果没有计算机的辅助，较复杂的大规模集成电路的设计是不可能的。70年代以来，集成电路利用计算机的设计有很大的进展。制版的计算机辅助设计、器件模拟、电路模拟、逻辑模拟、布局布线的计算辅助设计等程序，都先后研究成功，并发展成为包括校核、优化等算法在内的混合计算机辅助设计，乃至整套设备的计算机辅助设计系统。

在生产、储藏及使用过程中，微电子产品面临着被腐蚀的风险，现有技术中制造商经常采用封装的方法来保护微电子产品。该方法可以有效解决微电子产品被腐蚀的问题，但是同样存在着操作复杂，浪费加工时间的问题。

发明内容

解决的技术问题：本发明提供了一种微电子表面耐酸涂层及其制备方法，通过将原料加工成水剂喷雾的方法，制备得到一种可直接喷洒在微电子产品表面，形成一层致密、紧实的保护层。

为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

一种微电子表面耐酸涂层，主要由以下原料按重量份数配比制成：石英砂13~45份、石油焦12~40份、木屑9~25份、氯化钠8~20份、二氧化钛1~9份、乙醇13~30份、水30~55份。

作为本发明的一种改进，所述微电子表面耐酸涂层主要由以下原料按重量份数配比制成：石英砂40份、石油焦32份、木屑21份、氯化钠13份、二氧化钛7份、乙醇26份、水48份。

一种微电子表面耐酸涂层的制备方法，包含以下步骤：

（1）将石英砂、石油焦和木屑研磨成粉，粉末粒径均为400~600目；

（2）将步骤（1）获得的粉末和氯化钠粉末投入高温电阻炉中，辐射加热，温度维持于1000~1200℃，0.5~1小时；

（3）经步骤（2）高温冶炼后的粉末与二氧化钛粉末按重量比3~6:1混合后加入水中，边搅拌边向其中加入乙醇，至全部溶解即可获得微电子表面耐酸涂层。

作为本发明的一种优选方案，步骤（2）中将步骤（1）获得的粉末和氯化钠粉末投入高温电阻炉中，辐射加热，温度维持于1200℃，1小时。

作为本发明的一种优选方案，步骤（3）中，经步骤（2）高温冶炼后的粉末与二氧化钛粉末按重量比5:1混合后加入水中，边搅拌边向其中加入乙醇，至全部溶解即可获得微电子表面耐酸涂层。

有益效果

与现有技术相比，本发明采用以上技术方案后能够带来以下技术效果：

首先，本发明制备的微电子表面耐酸涂层柔性和透气性好；

其次，本发明制备的微电子表面耐酸涂层可以直接喷洒至产品表面，操作简便且对环境无害、无毒、易清洗；

最后，本发明制备的微电子表面耐酸涂层除了能够防水之外，具有极强的耐酸性能，从而能够抵抗外界环境的腐蚀。

具体实施方式

实施例1

一种微电子表面耐酸涂层，主要由以下原料按重量份数配比制成：石英砂13份、石油焦12份、木屑9份、氯化钠8份、二氧化钛1份、乙醇13份、水30份。

一种微电子表面耐酸涂层的制备方法，包含以下步骤：

（1）将石英砂、石油焦和木屑研磨成粉，粉末粒径均为400目；

（2）将步骤（1）获得的粉末和氯化钠粉末投入高温电阻炉中，辐射加热，温度维持于1000℃，0.5小时；

（3）经步骤（2）高温冶炼后的粉末与二氧化钛粉末按重量比3:1混合后加入水中，边搅拌边向其中加入乙醇，至全部溶解即可获得微电子表面耐酸涂层。

实施例2

一种微电子表面耐酸涂层，主要由以下原料按重量份数配比制成：石英砂40份、石油焦32份、木屑21份、氯化钠13份、二氧化钛7份、乙醇26份、水48份。

一种微电子表面耐酸涂层的制备方法，包含以下步骤：

（1）将石英砂、石油焦和木屑研磨成粉，粉末粒径均为600目；

（2）将步骤（1）获得的粉末和氯化钠粉末投入高温电阻炉中，辐射加热，温度维持于1200℃，1小时；