[发明专利]一种肖特基二极管的制作方法及肖特基二极管在审
| 申请号: | 201510254663.0 | 申请日: | 2015-05-18 |
| 公开(公告)号: | CN106298973A | 公开(公告)日: | 2017-01-04 |
| 发明(设计)人: | 刘美华;康冬亮;陈建国;林信南 | 申请(专利权)人: | 北京大学;北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司 |
| 主分类号: | H01L29/872 | 分类号: | H01L29/872;H01L29/06;H01L21/336 |
| 代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司11291 | 代理人: | 黄志华 |
| 地址: | 100871*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 肖特基 二极管 制作方法 | ||
【权利要求书】:
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