[发明专利]一种小量程能量计测量激光能量密度及总能量的方法

权利要求书

1.一种小量程能量计测量激光能量密度及总能量的方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)、沿激光(5)的垂直方向将能量计探头(1)和设有小孔(2)的挡光片(3)固定在二维运动平台(7)上，能量计探头(1)位于小孔(2)之后，小孔(2)中心与能量计探头(1)中心同轴；能量计探头(1)量程为2-20mJ,小孔(2)直径D的范围为0.20-0.30mm，激光器(6)发出的激光(5)经过挡光片(3)后，小部分激光能量从挡光片(3)上的小孔(2)进入能量计探头(1)；

2)、将二维运动平台(7)沿Y轴移动，通过能量计探头(1)找到能量计示数最大位置，标记为A点，再以A点为基础，保持Y轴不动，二维运动平台(7)沿X轴移动，通过能量计探头(1)找到能量计示数最大位置，标记为O点，O点即为光斑的中心，将O点取为坐标系的原点；

3)、将二维运动平台(7)沿着X轴正向移动，每次移动步距s为0.1-1mm，每移动一次，记下能量计示数E,当移动n次后，该处的能量计示数为E_n，即s*n处的能量密度为4*E_n/(πD^2)，当能量计示数变为零时，停止向X轴正向移动，将二维运动平台(7)移回到坐标原点O，并朝X轴负向移动，方式与沿X轴正向移动相同，得到-s*n处的能量密度为4*E_-n/(πD^2)；

4)、将(±s*n，4*E_±n/(πD^2))绘制到坐标系中，即得到使用能量计测量得到的激光能量密度分布；

5)、将激光能量密度分布对面积进行积分，得到激光(5)总的脉冲能量。

2.根据权利要求1所述的一种小量程能量计测量激光能量密度及总能量的方法，其特征在于：所述的挡光片(3)表面设有防护材料(4)。

3.根据权利要求1所述的一种小量程能量计测量激光能量密度及总能量的方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)、沿激光(5)的垂直方向将能量计探头(1)和设有小孔(2)的挡光片(3)固定在二维运动平台(7)上，能量计探头(1)位于小孔(2)之后，小孔(2)中心与能量计探头(1)中心同轴；能量计探头(1)量程为2mJ，小孔(2)直径D为0.28mm，激光器(6)发出的激光(5)经过挡光片(3)表面的NaCl防护材料(4)后，小部分激光能量从挡光片(3)上的小孔(2)进入能量计探头(1)；

2)、将二维运动平台(7)沿Y轴移动，通过能量计探头(1)找到能量计示数最大位置，标记为A点，再以A点为基础，保持Y轴不动，二维运动平台(7)沿X轴移动，通过能量计探头(1)找到能量计示数最大位置，标记为O点，O点为光斑的中心，将O点取为坐标系的原点；

3)、将二维运动平台(7)沿着X轴正向移动，每次移动步距s为1mm，每移动一次，记下能量计示数E,当移动n次后，该处的能量计示数为E_n，即1*n处的能量密度为4*E_n/(π*0.28^2)，当能量计示数变为零时，停止向X轴正向移动，将二维运动平台(7)移回到坐标原点O，并朝X轴负向移动，方式与沿X轴正向移动相同，得到-1*n处的能量密度为4*E_-n/(π*0.28^2)；

4)、将(±1*n，4*E_±n/(π*0.28^2))绘制到坐标系中，即得到使用能量计测量得到的激光能量密度分布；

5)、将激光能量密度分布对面积进行积分，得到激光(5)通过挡光片(3)上的NaCl防护材料(4)后的脉冲能量为420.8509mJ。