[发明专利]一种应用柔性背极的硅电容麦克风有效
| 申请号： | 201510242784.3 | 申请日： | 2015-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN104853300B | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 万蔡辛;杨少军 | 申请（专利权）人： | 共达电声股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 深圳市沈合专利代理事务所(特殊普通合伙) 44373 | 代理人： | 沈祖锋 |
| 地址： | 山东省潍*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 应用 柔性 电容 麦克风 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于应用柔性背极的硅电容麦克风，包括基底、振膜和柔性背极，所述柔性背极与所述振膜形成可变电容，其特征在于，所述柔性背极因残余应力导致的翘曲小于或等于20微米，所述柔性背极上设置有波纹或加强筋，并且所述柔性背极上还设置有开孔或开槽，其中，在所述柔性背极上设置有多个突起，且所述多个突起具有不同的高度，
所述背极上通过设置凹陷或开槽的方式划分为主要区域与非主要区域，位于所述主要区域的背极材料和位于所述非主要区域的背极材料之间具有不同的相对高度和不同的防撞强度，
其中，所述柔性背极上设置有多个孔或槽，且在所述背极上至少存在一个带状区域，位于所述带状区域内的每个孔或槽的面积比位于所述柔性背极其它区域内的最大的孔或槽的面积小5％以上。
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