[发明专利]一种喷涂装置和喷涂方法

说明书

技术领域

本发明涉及喷涂技术领域，尤其涉及一种喷涂装置和喷涂方法。

背景技术

在液晶显示装置的生产过程中，需要在基板上形成具有图形的多个膜层。具有图形的每个膜层的形成过程至少包括：在基板上涂布光刻胶，对光刻胶进行曝光，以及对光刻胶进行显影等步骤。

现有技术中，应用于大世代产线的显影方法具体如下：如图1所示，基板1’倾斜进入显影机中，并沿显影机台移动，基板1’上方设置有多个相互平行的摇杆2’，每个摇杆2’上均匀设置有多个喷头3’，显影液从喷头3’喷涂到基板1’上。

由于基板1’倾斜设置，从而使得基板1’的第一侧高于基板1’的第二侧，因此，位于同一摇杆2’上的靠近第一侧的喷头4’喷出的显影液会向基板1’的第二侧流动，而位于同一摇杆2’上的靠近第二侧的喷头5’同时也会向基板1’的第二侧喷涂显影液，导致显影液会在基板1’的第二侧堆积，使得基板1’的第二侧的显影液较多，从而使得基板1’上的显影液不均一，进而导致基板1’显影不均一。

发明内容

本发明的目的在于提供一种喷涂装置和喷涂方法，用于提高基板上喷涂物质的均一性。

为解决上述技术问题，本发明提供了一种喷涂装置，采用如下技术方案：

一种喷涂装置，包括多个相互平行的摇杆，每个所述摇杆上设置有多个喷头，所述摇杆的延伸方向与基板的移动方向之间具有第一夹角，所述第一夹角为锐角或钝角；

每相邻的N个所述摇杆为一组，每组内的所有所述摇杆上设置的喷头交错排布，其中，N为大于等于2且小于等于所述摇杆总数的正整数。

所述喷涂装置还包括与所述摇杆相配合以调节所述第一夹角的水平调节结构。

所述水平调节结构包括分别位于所述基板的平行于所述基板的移动方向的两侧的两个水平控制杆，每个所述摇杆连接于两个所述水平控制杆上，所述水平控制杆可沿所述基板移动方向移动。

N等于2，或者，N等于所述摇杆总数。

所述基板具有较高的第一侧和较低的第二侧，每个所述摇杆上的相邻两个喷头之间的间距逐渐减小。

所述喷涂装置还包括与所述摇杆相配合以调节所述摇杆与所述基板之间的垂直距离的垂直调节结构。

所述垂直调节结构包括分别位于所述摇杆两端的两个垂直控制片，每个所述垂直控制片上设置有沿垂直于所述基板方向延伸的开口，每个所述摇杆的两端分别插入两个所述垂直控制片的所述开口中，并可沿所述开口上下移动。

所述摇杆的两端与所述基板之间的垂直距离相等。

每组内的所有所述摇杆与所述基板之间的垂直距离均不同。

本发明实施例提供了一种喷涂装置，该喷涂装置具有以上所述的结构，由于摇杆的延伸方向与基板的移动方向之间具有第一夹角，第一夹角为锐角或钝角，从而使得同一摇杆上的喷头喷涂的喷涂物质在基板上的流动路径不重合，从而能够减轻喷涂物质在基板上的堆积，提高基板上的喷涂物质的均一性，且每组内的所有摇杆上设置的喷头交错排布，从而使得相邻摇杆上的喷头之间的相互影响也较弱，从而能够进一步提高基板上的喷涂物质的均一性。

此外，本发明实施例还提供了一种使用以上任一种喷涂装置的喷涂方法，该喷涂方法包括：

使所述基板倾斜进入所述喷涂装置；

使所述摇杆的延伸方向与所述基板的移动方向之间具有所述第一夹角；

对所述基板进行喷涂。

本发明实施例提供了一种喷涂方法，该喷涂方法包括：使基板倾斜进入喷涂装置，使摇杆的延伸方向与基板的移动方向之间具有第一夹角，对基板进行喷涂，从而使得同一摇杆上的喷头喷涂的喷涂物质在基板上的流动路径不重合，从而能够减轻喷涂物质在基板上的堆积，提高基板上的喷涂物质的均一性，且每组内的所有摇杆上设置的喷头交错排布，从而使得相邻摇杆上的喷头之间的相互影响也较弱，从而能够进一步提高基板上的喷涂物质的均一性。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有技术中的显影过程示意图；

图2为本发明实施例中的喷涂装置俯视图；

图3为本发明实施例中的喷涂装置的侧视图；

图4为本发明实施例中的喷涂方法的流程图。

附图标记说明：

1—摇杆；2—喷头； 3—基板；