[发明专利]大气压等离子体发生装置及方法

权利要求书

1.一种大气压等离子体产生装置，其特征在于，所述大气压等离子体产生装置包括：调压计、高频交流电源及等离子体发生器；其中，所述等离子体发生器包括：

金属电极，与所述高频交流电源的一端相连接；

储液池，其内部注有电解质溶液，所述储液池与所述高频交流电源的另一端相连接，并且所述储液池与所述金属电极隔开预定间距的放电间隙，所述放电间隙作为等离子体产生区。

2.根据权利要求1所述的大气压等离子体产生装置，其特征在于，所述的等离子体发生器包括：一辅助电极，设置在所述储液池内，所述储液池通过所述辅助电极与所述高频交流电源的另一端相连接。

3.根据权利要求2所述的大气压等离子体产生装置，其特征在于，所述金属电极与所述高频交流电源的高压输出端相连接，所述储液池通过所述辅助电极与所述高频交流电源的低压输出端相连接，所述金属电极、所述高频交流电源及所述储液池构成闭合回路；所述金属电极与所述高频交流电源的低压输出端相连接，所述储液池通过所述辅助电极与所述高频交流电源的高压输出端相连接，所述金属电极、所述高频交流电源及所述储液池构成闭合回路。

4.根据权利要求1所述的大气压等离子体产生装置，其特征在于，所述等离子体发生器还包括：蠕动泵，用于调节所述储液池的液面高度及稳定性。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的大气压等离子体产生装置，其特征在于，所述金属电极设置于一竖直方向可调的调节装置上，并且所述金属电极垂直于储液池的液面放置。

6.根据权利要求1-4中任一项所述的大气压等离子体产生装置，其特征在于，所述高频交流电源的放电电压为0～30kV可调，频率为4kHz～20kHz可调。

7.根据权利要求1-4中任一项所述的大气压等离子体产生装置，其特征在于，所述金属电极的材料为钨、钼、钛、钽，直径为0.5mm～10mm，针尖角度为20°～75°。

8.根据权利要求1-4中任一项所述的大气压等离子体产生装置，其特征在于，所述电解质溶液为去离子水或加入预定浓度的无机试剂的溶液，所述电解质溶液的电导率为1μS/cm～10000μS/cm。

9.一种大气压等离子体产生方法，应用于权利要求1-8中任一项所述的大气压等离子体产生装置，其特征在于，所述的大气压等离子体产生方法包括：

通过调节所述调压计逐渐增大所述高频交流电源的输出电压，使所述储液池与所述金属电极之间的放电间隙发生击穿，形成等离子体产生区；

调节所述高频交流电源的输出电压或频率，以及所述放电间隙的间距，使等离子体在所述电解质溶液的表面形成不同形状的斑图。