[发明专利]光路切换装置及集成多个测头的微纳米测量系统有效
| 申请号： | 201510236070.1 | 申请日： | 2015-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN105136024B | 公开（公告）日： | 2017-11-21 |
| 发明（设计）人： | 吴俊杰;陈欣;丁国清 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙)31219 | 代理人： | 雷绍宁 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 切换 装置 集成 多个测头 纳米 测量 系统 | ||
1.一种集成多个测头的微纳米测量系统，包括光源模块(2)、图像采集模块(3)和多个测头模块(41、42)；其特征是，还包括一个成像分光镜(5)和一个光路切换装置(1)，所述光路切换装置(1)包括一个驱动机构(12)、一个移动反射镜(11)和多个固定反射镜，所述移动反射镜(11)上具有多个朝向不同方向的反射面，每个反射面与一个固定反射镜平行相对，所述光源模块(2)发出的光源光线经成像分光镜(5)反射后照射在移动反射镜(11)的一个反射面上，再经固定反射镜反射后进入其中一个测头模块(41、42)，从测头模块(41、42)中返回的成像光线依次经所述固定反射镜、移动反射镜(11)和成像分光镜(5)进入图像采集模块(3)；所述移动反射镜(11)与所述驱动机构(12)相连接，当驱动机构(12)带动移动反射镜(11)移动位置后，可使移动反射镜(11)的另一反射面接收所述光源光线，并经另一固定反射镜反射后进入另一测头模块。
2.如权利要求1所述的测量系统，其特征是，所述多个测头模块(41、42)中包括一个可实现微米尺度测量的光学显微干涉测头模块(41)和一个可实现纳米尺度测量的原子力显微干涉测头模块(42)。
3.如权利要求2所述的测量系统，其特征是，所述原子力显微干涉测头模块(42)中包括光学干涉物镜(411)、压电驱动器(422)、悬臂梁(423)和探针(424)，所述压电驱动器(422)和悬臂梁(423)后端连接，悬臂梁(423)前端和探针(424)垂直连接，所述光源光线透过所述光学干涉物镜(411)照射在所述悬臂梁(423)背面。
4.如权利要求2所述的测量系统，其特征是，所述光学显微干涉测头模块(41)中包括一光学干涉物镜(411)。
5.如权利要求3或4所述的测量系统，其特征是，所述光学干涉物镜(411)为米劳干涉物镜、迈克尔逊干涉物镜或林尼克干涉物镜。
6.如权利要求1所述的测量系统，其特征是，所述多个测头模块(41、42)中包括聚焦式测头模块或光学微接触式测头模块。
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