[发明专利]高温石英加热槽的制作方法

说明书

技术领域

本发明涉及LED生产制造领域，具体涉及一种高温石英加热槽及制作方法。

背景技术

在现代LED生产制造过程中，晶片需要进行酸洗，通常在石英加热槽中进行，酸洗溶液配置时温度高达200℃以上，高温会对槽体造成损伤，所以槽体由耐高温的石英制成。

而国内如中电45所、台湾鸿基、北京华联、常州硅密等设备制造厂家所用的石英槽是由槽体外壁上贴上加热膜片，石英槽和外侧固定板之间填充保温棉，外部采用盐白聚丙烯板固定石英槽。在CN201110110726.7中公开了一种石英加热槽，该石英加热槽槽体上端部没有防护，在芯片取放过程中会使芯片上的高温混合溶液低落到外部用于固定石英缸的聚丙烯槽体上，导致聚丙烯槽体出现皲裂、老化现象，使得槽体使用寿命大大降低，备件消耗费用增加。

由于聚丙烯板最高承受温度为100℃，在石英槽外边缘的聚丙烯材料再取放产品过程中，高温酸碱溶液滴落至聚丙烯板上，导致聚丙烯材料在高温环境使用一段时间后，石英缸外侧的固定聚丙烯材料就出现皲裂、老化现象，缩短设备使用寿命、增大操作时的危险性、增加设备维护成本、增加设备故障处理时间。

发明内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本发明提供了一种高温石英加热槽及制作方法，解决了石英缸外侧固定支架被高温混合溶液烫坏的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：

一种高温石英加热槽，包括石英缸(1)、石英缸固定支架(4)、加热贴膜(5)、保温棉(6)，其特征在于，还包括水槽(2)；

所述水槽(2)上安装有水槽挡板(3)；

所述水槽挡板(3)上开设有进水口(31)和出水口(32)；

所述水槽(2)与石英缸固定支架(4)连接，所述石英缸固定支架(4)连接在石英缸(1)外侧，所述石英缸固定支架(4)和石英缸(1)的连接体放置于槽体(7)内；

所述石英缸(1)的外壁和槽体(7)内壁之间放置有保温棉(6)，所述石英缸(1)四壁贴有加热贴膜(5)。

优选的，所述进水口(31)有三个，出水口(32)有一个。

优选的，所述水槽(2)与石英缸固定支架(4)之间的连接的方式为焊接。

优选的，所述水槽(2)在槽体(7)外部。

一种高温石英加热槽的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、测量石英缸(1)外围最大空间尺寸，设计并绘制水槽(2)的结构图纸；

S2、依据设计好的水槽(2)的结构图纸选用相应材料制作水槽(2)；

S3、将制作好的水槽(2)安装在石英缸固定支架(4)上；

S4、在水槽挡板四侧分别开设一个孔，选择水槽挡板任意一侧的孔为出水口(32)，其余三侧的孔为进水口(31)；

S5、将石英缸(1)和石英缸固定支架(4)组合后安装在槽体(7)内。

优选的，步骤S5中石英缸(1)和石英缸固定支架(4)组合安装成为石英槽体，所述石英槽体安装在槽体(7)内部，所述石英缸(1)四壁贴有加热贴膜(5)，所述石英缸(1)外壁和槽体(7)内壁之间填充保温棉(6)，所述槽体(7)的材料为聚丙烯。

优选的，步骤S3中所述水槽(2)和石英缸固定支架(4)的连接方式为焊接。

优选的，步骤S4中所述进水口(31)和出水口(32)分别安装有进水口接头和出水口接头。

优选的，步骤S4中所述进水管直径为1/8英寸，所述出水管直径为1/4英寸，所述出水管出水口(32)低于进水管进水口(31)5mm。

(三)有益效果

本发明提供了一种高温石英加热槽的制作方法，通过在石英加热槽槽体外侧的固定支架上增添水槽，保证在生产过程中滴落至石英槽外侧聚丙烯板上的高温溶液能落入水槽并及时被流动的水进行降温和稀释，从而有效保证聚丙烯板不被高温溶液损坏，使得槽体使用寿命得到大幅延长，减少石英体外部固定支架更换频率，降低备件消耗费用，降低设备故障率、提高设备安全运行性能。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例中高温石英加热槽立体图；

图2为本发明实施例中高温石英加热槽俯视图；