[发明专利]一种酸洗缓蚀抑雾剂的制备方法有效
申请号: | 201510229090.6 | 申请日: | 2015-05-07 |
公开(公告)号: | CN104805447B | 公开(公告)日: | 2017-04-19 |
发明(设计)人: | 惠松 | 申请(专利权)人: | 苏州普纳斯电子有限公司 |
主分类号: | C23F11/18 | 分类号: | C23F11/18;C23F11/12;C23G1/04 |
代理公司: | 北京商专永信知识产权代理事务所(普通合伙)11400 | 代理人: | 高之波,邬玥 |
地址: | 215000 江苏省苏州市吴*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 酸洗 缓蚀抑雾剂 制备 方法 | ||
1.一种酸洗缓蚀抑雾剂的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1、将氯化钙与水混合后提取上层清液;
S2、每30kg氯化钙澄清溶液中加入己二腈16-40kg,在搅拌釜中搅拌3-4小时后,加入浓度为40%的磷酸14-16kg并搅拌10-30分钟,加入浓度为10%的盐酸40kg后搅拌10-30分钟以制得母液;
S3、每900kg浓度为15%的盐酸中加入母液20-40kg、丙炔醇20-40kg、非离子表面活性剂10-80kg、无水硫酸钠7-8kg及烧碱1-7kg,搅拌2-3小时。
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述步骤S1中氯化钙与水的混合比例为1:4-1:6。
3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述步骤S3中的非离子表面活性剂为聚氧乙烯型非离子表面活性剂。
4.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于,所述聚氧乙烯型非离子表面活性剂由辛基酚聚氧乙烯醚、壬基酚聚氧乙烯醚中的一种或者两种任意比例的混合物组成。
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