[发明专利]一种物体表面镀层厚度的检测装置及过程管控方法在审
| 申请号: | 201510228609.9 | 申请日: | 2015-05-07 |
| 公开(公告)号: | CN105043210A | 公开(公告)日: | 2015-11-11 |
| 发明(设计)人: | 姚钧;戴志展 | 申请(专利权)人: | 嘉兴斯达微电子有限公司 |
| 主分类号: | G01B5/06 | 分类号: | G01B5/06 |
| 代理公司: | 杭州九洲专利事务所有限公司 33101 | 代理人: | 翁霁明 |
| 地址: | 314006 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 物体 表面 镀层 厚度 检测 装置 过程 方法 | ||
1.一种物体表面镀层厚度的检测装置,它主要包括一带有上端面的检测支架,其特征在于所述的检测支架上设置有一根可在检测支架上端面左右移动的横向轴,而在该横向轴上安装有一在横向轴上前后移动的、能测量整个平面上准确坐标点高度的电子千分表(1),所述电子千分表(1)通过数据线(3)相连有可检测数据自动输入的电脑(7)。
2.根据权利要求1所述的物体表面镀层厚度的检测装置,其特征在于所述的检测支架主要由四根垂直支柱(2)和两条纵向支架(6)组成,横向轴可在所述纵向支架上前后移动;所述四根垂直支柱(2)被固定在大理石(8)上,并可相对放置于大理石(8)上的被测物体(5)进行高度调整。
3.根据权利要求2所述的物体表面镀层厚度的检测装置,其特征在于所述的横向轴(4)上带有刻度,且装载了可在横向轴上前后移动的电子千分表;所述两条纵向支架(6)带有刻度且固定在垂直支柱上,并保持水平状态。
4.一种利用权利要求1或2或3所述的检测装置进行物体表面镀层厚度的过程管控方法,其特征在于该过程管控方法包括如下步骤:
a)将被测物体(5)在未涂镀前,用相应夹具放置于大理石(8)上固定的位置;
b)在被测物体表面选择坐标原点,调节垂直支柱(2)高度,横向轴(4)在纵向支架(6)上位置及横向轴上千分表(1)位置;
c)电子千分表按照从内向外,从左向右的顺序,以固定间距1mm对被测物体表面高度进行测量和记录,并由电脑(7)自动记录;
d)取出被测物体,在完成涂镀后,进行相同操作一次;在被测物体的相同位置上,涂镀后所测高度与电镀前所测高度之差即为该位置镀层厚度;
e)最终通过电脑软件模拟出被测物体表面镀层厚度的分布,从而判断是否在过程控制范围内。
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