[发明专利]基于可调光栅型微环的三维集成光功分/波分器有效
| 申请号： | 201510224339.4 | 申请日： | 2015-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN104865639B | 公开（公告）日： | 2017-10-31 |
| 发明（设计）人： | 孙小菡;吕涛;蒋卫锋;田勇;崔晗;李元 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G02B6/125 | 分类号： | G02B6/125;G02B6/293 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司32200 | 代理人： | 朱小兵 |
| 地址： | 210096*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 可调 光栅 型微环 三维 集成 光功分 波分器 | ||
【权利要求书】：
1.基于可调光栅型微环的三维集成光功分/波分器，包括硅衬底、生长在硅衬底上方的缓冲层、生长在缓冲层上方的波导层、生长在波导层外表面的覆盖层；其特征在于，
波导层分为上中下三层，其中，上层包括第一至第三输出波导，中层包括输入波导、微环谐振器，下层包括第四至第六输出波导；第一至第六输出波导分为三组，分别为第一和第四输出波导、第二和第五输出波导、第三和第六输出波导；微环谐振器上刻蚀有四个光栅结构，输入波导以及三组输出波导分别位于每两个光栅结构之间，且每组输出波导中的两个输出波导关于微环谐振器上下对称；通过微环谐振器在中层实现滤波，每组对称的输出波导与微环谐振器通过倏逝场耦合实现功分。
2.根据权利要求1所述的基于可调光栅型微环的三维集成光功分/波分器，其特征在于，缓冲层为二氧化硅缓冲层。
3.根据权利要求1所述的基于可调光栅型微环的三维集成光功分/波分器，其特征在于，在光栅结构的上方设置一层压电材料，在压电材料的上方设置附属电极，构成可调光栅。
4.根据权利要求3所述的基于可调光栅型微环的三维集成光功分/波分器，其特征在于，压电材料为聚偏氟乙烯薄膜。
5.根据权利要求3所述的基于可调光栅型微环的三维集成光功分/波分器，其特征在于，每组输出波导传输同一种波长且功率相同。
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