[发明专利]一种基于激光感知的多参数检测方法

权利要求书

1.一种基于激光感知的多参数检测方法，其特征在于包括以下步骤：

步骤(1)激光光源出射光束的光路上设置有光束整形部件，光束整形部件调节光束参数得到测量用激光光束；

步骤(2)激光光束照射到被检测区域，被检测区域存在光学界面，激光光束在光学界面处被散射，发生激光散射效应，形成激光散射光场，呈现激光传输散斑；

步骤(3)激光散射光场经过离焦光学成像系统，成像在二维成像光电传感器上，二维成像光电传感器将离焦激光散斑图像转化为图像电信号，强度光电传感器检测激光散斑光信号，实现激光散斑光强信号的光电转化；

步骤(4)通过处理二维成像光电传感器探测得到的散斑图像信息，实现被检测区域机械振动特性测量；对强度光电传感器采集到的光信号，通过利用二次谐波吸收光谱分析算法，得到光束经过路径上气体浓度信息。

2.如权利要求1所述的一种基于激光感知的多参数检测方法，其特征在于：所述的激光光源为气体激光器、固态激光器、染料激光器、半导体激光器中的一种。

3.如权利要求1所述的一种基于激光感知的多参数检测方法，其特征在于：所述的光束整形部件为透镜光束整形部件、反射式光束整形部件、液晶光束整形部件、微纳结构光束整形部件中的一种。

4.如权利要求1所述的一种基于激光感知的多参数检测方法，其特征在于：所述的二维成像光电传感器为电荷耦合器件或互补金属氧化物半导体电传感器。

5.如权利要求1所述的一种基于激光感知的多参数检测方法，其特征在于：所述的强度光电传感器为光电二极管、光电三极管、雪崩管、光电倍增管中的一种。

6.如权利要求1所述的一种基于激光感知的多参数检测方法，其特征在于：所述的离焦光学成像系统为折射式光学成像系统、反射式光学成像系统、混合式光学成像系统中的一种。

7.如权利要求1所述的一种基于激光感知的多参数检测方法，其特征在于：所述的光束整形部件与被检测区域之间设有光束反射部件，且光束反射部件激光光源出射光束的光路上，光束反射部件设置于第一成像透镜的朝向光学界面一侧，致使光学系统为同轴系统。

8.如权利要求1所述的一种基于激光感知的多参数检测方法，其特征在于：所述的强度光电传感器和被检测区域之间设置有光学转换系统。

9.如权利要求8所述的一种基于激光感知的多参数检测方法，其特征在于：所述的光学转换系统和离焦光学成像系统存在部分光学元件的共用。