[发明专利]一种VDMOS器件及其制作方法有效
| 申请号： | 201510212247.4 | 申请日： | 2015-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN106206712B | 公开（公告）日： | 2019-08-06 |
| 发明（设计）人： | 赵圣哲 | 申请（专利权）人： | 北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/78 | 分类号： | H01L29/78;H01L21/336 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;黄灿 |
| 地址： | 100871 北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 vdmos 器件 及其 制作方法 | ||
【说明书】：
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