[发明专利]基于双波长斐索干涉仪的光学非均匀性测量装置及方法有效
申请号: | 201510209977.9 | 申请日: | 2015-04-28 |
公开(公告)号: | CN106092514B | 公开(公告)日: | 2018-10-02 |
发明(设计)人: | 高志山;王凯亮;成金龙;王伟;王帅;袁群;杨忠明;朱丹;窦建泰;叶井飞 | 申请(专利权)人: | 南京理工大学 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
代理公司: | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人: | 朱显国 |
地址: | 210094 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 波长 干涉仪 光学 均匀 测量 装置 方法 | ||
【权利要求书】:
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