[发明专利]一种基于邻氨基苯基取代卟啉纳米材料的二氧化氮气敏传感器

权利要求书

1.一种用于测定二氧化氮气体的气敏传感器元件，所述传感器元件包含ITO导电玻璃基底(1)、叉指电极(2)和材料涂层(3)；所述叉指电极(2)刻蚀在ITO导电玻璃基底(1)上，所述材料涂层(3)滴涂在ITO导电玻璃基底上的叉指电极上，其特征在于，所述材料涂层的组分为5,10-二对氨基苯基-15,20-二苯基卟啉纳米材料。

2.一种制备权利要求1所述气敏传感器元件的方法，该方法包括以下步骤：

1)ITO导电玻璃叉指电极的制备；

2)将上述ITO导电玻璃清洗干净；

3)将5,10-二对氨基苯基-15,20-二苯基卟啉纳米材料滴涂到步骤2)得到的ITO基片的叉指电极上，晾干，即得到气敏传感器的气敏元件。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，步骤1)所述ITO导电玻璃叉指电极的制备方法为：

①在清洗后的ITO透明导电玻璃上旋涂上一层负光刻胶，然后将其置入干燥箱中70℃恒温10min；

②以设计有叉指电极图案的光绘片为掩膜版，在光刻机下曝光18秒后显影和漂洗；

③将显影清晰的式样进行140℃焙烘40min，在盐酸和硝酸的混合液中刻蚀后，用去离子水和负胶清洗液除去残酸和光刻胶，得到ITO导电玻璃叉指电极。

4.一种权利要求2所述5,10-二对氨基苯基-15,20-二苯基卟啉纳米材料的制备方法，该方法包括以下步骤：

1)将5,10-二对氨基苯基-15,20-二苯基卟啉加入到良溶剂中，过滤；

2)向步骤1)所得滤液中注入或滴加不良溶剂，密封静置3～4天，过滤，得到5,10-二对氨基苯基-15,20-二苯基卟啉聚集体。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，5,10-二对氨基苯基-15,20-二苯基卟啉与良溶剂摩尔体积比为1：5～100，单位：mol/ml；

不良溶剂与良溶剂的体积比为1:3～10；

所述良溶剂选自三氯甲烷、二氯甲烷中的一种或两种；

所述不良溶剂选自甲醇、正己烷中的一种或两种。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，5,10-二对氨基苯基-15,20-二苯基卟啉与良溶剂摩尔体积比为1:4～80，单位：mol/ml。

7.5,10-二对氨基苯基-15,20-二苯基卟啉用于制备权利要求1所述气敏传感器元件的用途。