[发明专利]一种新型多频点、高灵敏太赫兹传感器的制造方法

权利要求书

1.一种新型多频点、高灵敏太赫兹传感器用于肿瘤细胞检测的方法，包括如下步骤：

（1）在培养板中加入含有5%胎牛血清的DMEM高糖培养基和肿瘤细胞，将所述培养板置于二氧化碳培养箱中培养肿瘤细胞；

（2）待肿瘤细胞长满培养板底时，利用酶解法消化肿瘤细胞，得到单细胞悬液并进行细胞计数；

（3）将太赫兹传感器放置并浸泡在含有DMEM高糖培养基的培养板底上，设置肿瘤细胞悬液，放置于有所述太赫兹传感器的培养板中培养；

（4）待肿瘤细胞完全贴壁后，取出所述太赫兹传感器，使用纯水冲洗传感器表面，去除残留的DMEM高糖培养基；

（5）去除所述太赫兹传感器表面的水分，即得到生长有单层肿瘤细胞的太赫兹传感器；

所述太赫兹传感器的制造方法包括如下步骤：

1）清洗基片；

2）在所述基片上涂覆聚酰亚胺膜；

3）在所述聚酰亚胺膜上涂覆光刻胶LOR并烘干；

4）在所述光刻胶LOR上涂覆光刻胶AZ1500并烘干；

5）对光刻胶进行曝光、显影和烘干；

6）在所述光刻胶AZ1500和露出的聚酰亚胺膜上蒸发一层金属；

7）将蒸发一层金属的基片浸泡在丙酮溶液中剥离去除剩下的光刻胶AZ1500与所述光刻胶AZ1500上的一层金属，然后用显影液去除剩余的光刻胶LOR；

8）去除基片：将基片和聚酰亚胺膜剥离。

2.根据权利要求1所述一种新型多频点、高灵敏太赫兹传感器用于肿瘤细胞检测的方法，其特征在于：所述步骤1）中，分别用丙酮、酒精和去离子水超声清洗基片。

3.根据权利要求1所述一种新型多频点、高灵敏太赫兹传感器用于肿瘤细胞检测的方法，其特征在于：所述步骤2）中，采用两次旋转涂法甩粘度为3600厘泊的聚酰亚胺溶液并进行固化，得到厚度为10μm的聚酰亚胺膜。

4.根据权利要求1所述一种新型多频点、高灵敏太赫兹传感器用于肿瘤细胞检测的方法，其特征在于：所述步骤3）中的烘干温度为150℃，时间5分钟；所述步骤4）中的烘干温度不超过90℃，时间10分钟。

5.根据权利要求1所述一种新型多频点、高灵敏太赫兹传感器用于肿瘤细胞检测的方法，其特征在于：所述步骤5）中曝光所用的掩膜板的结构为周期结构，每个单元为5个同心圆环。

6.根据权利要求1所述一种新型多频点、高灵敏太赫兹传感器用于肿瘤细胞检测的方法，其特征在于：所述一层金属包括厚度为20nm的钛和厚度为200nm的金。

7.根据权利要求1所述一种新型多频点、高灵敏太赫兹传感器用于肿瘤细胞检测的方法，其特征在于：所述步骤8）中，用HF酸溶液浸泡涂覆聚酰亚胺膜的基片，然后取出所述基片，把聚酰亚胺膜从基片上剥离掉，在90℃的温度下固化10分钟左右。

8.根据权利要求1所述一种新型多频点、高灵敏太赫兹传感器用于肿瘤细胞检测的方法，其特征在于：所述肿瘤细胞为贴壁型肿瘤细胞。

9.根据权利要求8所述一种新型多频点、高灵敏太赫兹传感器用于肿瘤细胞检测的方法，其特征在于：所述步骤（4）中，肿瘤细胞在8-12小时后即完全贴壁。