[发明专利]AZO/Ag/AZO薄膜太阳能电池前电极的制备方法在审
| 申请号： | 201510189550.7 | 申请日： | 2015-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN104993010A | 公开（公告）日： | 2015-10-21 |
| 发明（设计）人： | 金晶;惠朝先;戴文韫;刘灿;吕康;李嘉诚;史伟民 | 申请（专利权）人： | 上海大学 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L31/0224 |
| 代理公司： | 上海上大专利事务所(普通合伙) 31205 | 代理人： | 顾勇华 |
| 地址： | 200444*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | azo ag 薄膜 太阳能电池 电极 制备 方法 | ||
1.一种AZO/Ag/AZO薄膜太阳能电池前电极的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
a. 使用载玻片作为衬底，用分析纯丙酮，酒精和去离子水分别进行超声波清洗，使载玻片清洁，烘干后放入磁控溅射反应室，再用射频磁控溅射方法在载玻片上生长第一层AZO薄膜，溅射时腔体温度为室温，溅射压强即真空度为0.01Torr，溅射气氛为惰性气体氛围，溅射薄膜厚度为30~40nm；
b. 以硝酸银为溶质，并以无水低分子醇为溶剂，将无水低分子醇的硝酸银澄清溶液、还原剂澄清溶液和稳定剂澄清溶液均匀混合，在不高于200℃的温度条件下搅拌进行回流反应，获得银纳米颗粒胶体溶液，再经离心、蒸发除去低分子醇，干燥后得到粒径不大于15纳米的球状银纳米颗粒，然后通过旋涂法将粘稠性银溶液旋涂在所述步骤a中制备的AZO薄膜表面，控制匀胶机的转速为500rpm~1000rpm，制备得到具有AZO薄膜层和Ag纳米颗粒薄膜层的复合层样品；
c. 将在所述步骤b制得的复合层样品放入恒温干燥箱内，调节温度50-60℃，15-30分钟后使样品充分干燥，然后再用射频磁控溅射方法在所述步骤b制备的银薄膜表面上生长第二层AZO薄膜，溅射时腔体温度为室温，溅射压强即真空度为0.01Torr，溅射薄膜厚度为30~40nm，最终得到具有AZO/Ag/AZO复合薄膜层的太阳能电池前电极。
2.根据权利要求1所述AZO/Ag/AZO薄膜太阳能电池前电极的制备方法，其特征在于：在所述步骤b中，所述无水低分子醇采用乙二醇，所述还原剂澄清溶液采用聚乙烯基吡咯烷酮均聚物溶液，所述稳定剂澄清溶液采用丙烷。
3.根据权利要求2所述AZO/Ag/AZO薄膜太阳能电池前电极的制备方法，其特征在于：在所述步骤b中，在120℃的温度条件下搅拌进行回流反应。
4.根据权利要求1～3中任意一项所述AZO/Ag/AZO薄膜太阳能电池前电极的制备方法，其特征在于：在所述步骤a或c中，在90w、100w或120w的溅射功率条件下，在10sccm的氩气氛围下，溅射10min~15min制备AZO薄膜。
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