[发明专利]成膜装置及成膜方法在审
| 申请号： | 201510186492.2 | 申请日： | 2015-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN106142800A | 公开（公告）日： | 2016-11-23 |
| 发明（设计）人： | 李汉隆;马宏俊;廖育麟;张志荣 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B32B37/00 | 分类号： | B32B37/00;B32B37/10;B32B38/00 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 彭辉剑 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 装置 方法 | ||
【权利要求书】：
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