[发明专利]一种探针的制备方法及制备装置有效

专利信息
申请号: 201510186082.8 申请日: 2015-04-17
公开(公告)号: CN104785871B 公开(公告)日: 2017-03-15
发明(设计)人: 张旻;易振东 申请(专利权)人: 清华大学深圳研究生院
主分类号: B23H3/00 分类号: B23H3/00
代理公司: 深圳新创友知识产权代理有限公司44223 代理人: 余敏
地址: 518055 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 探针 制备 方法 装置
【权利要求书】:

1.一种探针的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:1)将金属丝浸入电腐蚀溶液中;其中,所述电腐蚀溶液装在石墨材料制成的容器中,或者所述电腐蚀溶液中放置有环绕所述金属丝的圆筒状石墨电极,所述石墨电极高出液面;其中,所述石墨材料制成的容器的直径或者所述圆筒状的石墨电极的直径为20~75mm;2)在所述金属丝和所述容器之间,或者在所述金属丝和所述圆筒状石墨电极之间按照如下方式施加电压:先施加30~45V的第一正弦交流电压,施加时间确保所述金属丝浸入液面下的部分的腐蚀速度为1/30~1/20mm/s;然后施加15~25V的第二正弦交流电压,施加时间直至腐蚀反应结束;3)将处理后的所述金属丝提拉脱离液面,完成探针的制备。

2.根据权利要求1所述的探针的制备方法,其特征在于:所述步骤1)中,所述石墨材料制成的容器的直径或者所述圆筒状的石墨电极的直径为20~40mm。

3.根据权利要求1所述的探针的制备方法,其特征在于:所述步骤1)中,所述金属丝浸入液面下的部分的长度为3mm;所述步骤2)中,所述第一正弦交流电压的施加时间为60~90s。

4.根据权利要求1所述的探针的制备方法,其特征在于:所述步骤1)中,所述金属丝的直径为0.1~1mm。

5.根据权利要求1所述的探针的制备方法,其特征在于:所述步骤1)中,所述金属丝为钨材料或者铂材料。

6.根据权利要求1所述的探针的制备方法,其特征在于:所述步骤1)中,所述电腐蚀溶液为由氯化钙、氯化钠、氢氧化钠、氢氧化钾配置的电解溶液。

7.一种探针的制备装置,其特征在于:包括电解池、位移台、交流电压源和控制电路;

所述电解池为直径为20~75mm的石墨材料制成的容器,用于装入电腐蚀溶液;

所述位移台用于固定住制备原料金属丝,且可调节使所述金属丝浸于所述电腐蚀溶液中;

所述交流电压源的一输出端连接所述金属丝,另一输出端连接所述容器,控制信号接收端连接所述控制电路;

所述控制电路用于控制所述交流电压源先输出30~45V的第一正弦交流电压,持续时间确保所述金属丝浸入液面下的部分的腐蚀速度为1/30~1/20mm/s;然后输出15~25V的第二正弦交流电压,持续时间直至腐蚀反应结束。

8.根据权利要求7所述的探针的制备装置,其特征在于:所述石墨材料制成的容器的直径为20~40mm。

9.一种探针的制备装置,其特征在于:包括电解池、圆筒状石墨电极、位移台、交流电压源和控制电路;

所述电解池用于装入电腐蚀溶液;

所述位移台用于固定住制备原料金属丝,且可调节使所述金属丝浸于所述电腐蚀溶液中;

所述圆筒状石墨电极的直径为20~75mm,放置在所述电腐蚀溶液中,且环绕所述金属丝设置;

所述交流电压源的一输出端连接所述金属丝,另一输出端连接所述圆筒状石墨电极,控制信号接收端连接所述控制电路;

所述控制电路用于控制所述交流电压源先输出30~45V的第一正弦交流电压,持续时间确保所述金属丝浸入液面下的部分的腐蚀速度为1/30~1/20mm/s;然后输出15~25V的第二正弦交流电压,持续时间直至腐蚀反应结束。

10.根据权利要求7所述的探针的制备装置,其特征在于:所述圆筒状石墨电极的直径为20~40mm。

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