[发明专利]一种LED芯片测量设备校准方法

权利要求书

1.一种LED芯片测量设备校准方法，其特征在于，首先对车间测试标准机按照以下步骤进行校准：

1)筛选校准所需晶粒作为标准晶粒，以目标校准波段每纳米5颗以上；

2)将标准晶粒整齐排列于蓝膜上并依顺序为每颗晶粒编号；

3)将待校正之测试标准机的校准值回归到初始状态；

4)使用测试标准机测量标准晶粒取得初始值A；

5)将标准晶粒送至IS标准测量设备取得标准值B；

6)使用标准值B的亮度栏位对初始值A的亮度栏位做散点图，并取得拟合函数即可得到亮度的校准值，拟合曲线依据需求可以使用一次拟合或者二次拟合，一次拟合得到拟合函数y＝ax+b其中a、b为亮度的校准值；二次拟合得到拟合函数y＝ax²+bx+c其中a、b、c为亮度的校准值；

7)使用标准值B的波长栏位对初始值的波长栏位做差，取得每个波段波长的差值，各个波段取各自平均值作为波长的校准值；

8)对取得之校准值进行验证，验证完毕后此机台为测试标准机；

测试标准机校准完成后，按照以下步骤利用测试标准机对非标准机进行校准：

9)取2-3片晶片在测试标准机上取值后，再到非标准机台上取值；

10)根据步骤9)中的数值，按照步骤6)的方式对亮度进行一次拟合或二次拟合，按照步骤7)的方式取得各个波长的校准值；

11)重复步骤9)和10)，将所有非标准机校准完成。