[发明专利]高灵敏度表面微小瑕疵光学检测装置及检测方法有效
| 申请号： | 201510173643.0 | 申请日： | 2015-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN106153627B | 公开（公告）日： | 2019-02-15 |
| 发明（设计）人： | 陆惠宗 | 申请（专利权）人： | 无锡迈福光学科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 上海金盛协力知识产权代理有限公司 31242 | 代理人： | 王松 |
| 地址： | 214200 江苏省无锡市宜*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 灵敏度 表面 微小 瑕疵 光学 检测 装置 方法 | ||
【说明书】：
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