[发明专利]沉积用掩模制造装置及利用该装置的沉积用掩模制造方法有效
| 申请号： | 201510172362.3 | 申请日： | 2015-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN106148889B | 公开（公告）日： | 2019-10-18 |
| 发明（设计）人： | 任星淳;黄圭焕;金在植;姜泰旭 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C16/04 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 齐葵;周艳玲 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 沉积 用掩模 制造 装置 利用 方法 | ||
【说明书】：
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