[发明专利]一种光纤内制备三维微流通道与微腔的方法

权利要求书

1.一种光纤内制备三维微流通道与微腔的方法，其特征在于：其包括如下步骤：

(1) 将光纤固定在微型水浴装置中；

(2) 将载有光纤的微型水浴装置放置在由计算机控制的三维精密移动平台上；

(3) 飞秒激光通过光学聚焦系统聚焦到光纤正下方的水中，飞秒激光脉冲与水相互作用诱导产生空化空蚀现象对光纤材料产生空腔刻蚀，并将水引入光纤内部；

(4) 通过计算机控制三维精密移动平台运动，使得飞秒激光脉冲焦点在光纤内进行扫描刻蚀，刻蚀掉的光纤材料随水流排出，在光纤纤芯或包层中制备得到三维微流通道与微腔。

2.根据权利要求1所述的光纤内制备三维微流通道与微腔的方法，其特征在于：所述步骤（1）中首先将待加工的光纤固定在微型水浴装置的两条支架之间，所述支架与载玻片等长、高度为120微米，两条支架平行固定于载玻片的两侧；而后在两条支架之间滴上水滴将光纤浸没，然后将盖玻片盖在水滴正上方。

3.根据权利要求1所述的光纤内制备三维微流通道与微腔的方法，其特征在于：所述的光纤为单模光纤或多模光纤。

4.根据权利要求1所述的光纤内制备三维微流通道与微腔的方法，其特征在于：所述的三维微流通道与微腔位于光纤的纤芯或包层中。

5.根据权利要求1所述的光纤内制备三维微流通道与微腔的方法，其特征在于：所述的飞秒激光脉冲宽度为飞秒量级，重复频率100Hz以上。