[发明专利]一种铒掺杂铌酸锂光波导放大器的制备方法

权利要求书

1.一种铒掺杂铌酸锂光波导放大器的制备方法，其特征在于，该方法包括步骤如下：

1）对铒离子掺杂铌酸锂晶体的待加工面进行光学抛光，所述待加工面与所述铒离子掺杂铌酸锂晶体的c轴垂直；

2）利用离子束加速器发出磷离子，对铒离子掺杂铌酸锂晶体的抛光面轰击，在铒离子掺杂铌酸锂晶体的抛光面形成平面光波导；

3）在所述平面光波导的表面加工脊型光波导；

4）将垂直于脊型光波导的两个端面进行光学抛光，分别作为出射端面和入射端面；

5）对出射端面进行光学镀膜，所述光学镀膜对波长范围为1.53~1.57μm的信号光高透、对波长范围为800nm~815nm的泵浦光高反；

6）使用入射光纤将信号光及泵浦光同时耦合到所述脊型光波导内；

7）透过出射端面及光学镀膜，将出射光耦合到出射光纤内；

在所述步骤3）中，加工脊型光波导包括：在所述平面光波导的表面切割两条平行的凹槽，所述凹槽的深度为20~40μm、宽度为80~200μm；所述两条凹槽的间隔为10~30μm,形成一个宽度为10~30μm的脊型光波导；

所述步骤2）中，所述磷离子的能量为8~12MeV，剂量为3~8×10¹⁵ions/cm²。

2.根据权利要求1所述的一种铒掺杂铌酸锂光波导放大器的制备方法，其特征在于，在所述步骤1）还包括去除抛光后的铒离子掺杂铌酸锂晶体的表面杂质。

3.根据权利要求1所述的一种铒掺杂铌酸锂光波导放大器的制备方法，其特征在于，在所述步骤2）中，在铒离子掺杂铌酸锂晶体的抛光面形成平面光波导的厚度为3-10μm。