[发明专利]一种实时监测刀具温度及磨损度的划片机及控制方法有效

专利信息
申请号: 201510155496.4 申请日: 2015-04-02
公开(公告)号: CN104708726A 公开(公告)日: 2015-06-17
发明(设计)人: 王晶;白玉贵 申请(专利权)人: 沈阳华夏光微电子装备有限责任公司
主分类号: B28D7/02 分类号: B28D7/02;B28D5/02;B28D1/24;C03B33/10;G01J5/00;G01B11/00
代理公司: 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 代理人: 俞鲁江
地址: 110000 辽宁省沈阳市*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 一种 实时 监测 刀具 温度 磨损 划片 控制 方法
【说明书】:

技术领域

发明涉及一种半导体材料或玻璃、压电陶瓷、蓝宝石等材料的加工机械领域,具体说是一种实时监测刀具温度及磨损度的划片机及控制方法。

背景技术

划片机的工作机理是强力切削,就是主轴带动高速旋转的刀片对被加工器件进行划切。在划片机的划切过程中刀片与被加工器件会产生大量的热,使刀片与被加工器件温度升高,过高的温度会严重影响划切质量,并大大缩短刀片的使用寿命,为了刀片与被加工器件的温度,在划切过程中需要向刀片和被加工器件喷射冷却介质以对其进行冷却。划片机是一种以高速旋转的砂轮磨削为主要原理的精密加工设备,其工作时的加工精度受设备自身的精度和工艺参数影响外,一个重要的因素就是刀具的磨损以及破损程度。如果刀具的磨损或者破损程度超过极限值,划切效果以及精度都会受到很大影响,甚至对设备或者加工对象都造成损坏。

现有的划片机上的刀具冷却装置仅能对刀片的轴向一侧喷射冷却介质,冷却效果不够理想;一种实时监控刀具温度及磨损度的划片机及控制方法尚未见报道。

发明内容

本发明要解决的技术问题,目的是提供一种结构简单、冷却效果更好的实时监控刀具温度及磨损度的划片机及控制方法。

本发明为实现其目的所采用的技术方案是:

一种能实时监控刀片温度和磨损度的划片机,划片机包括X轴、Y轴、Z轴、主轴变频电机及其机架、第一冷却装置、第二冷却装置、红外线测温装置、第一、第二激光扫描检测装置;

所述X轴上设有第一行走电机,Y轴上设有第二行走电机,Z轴上设有第三行走电机;

所述主轴变频电机前端依次固设有第一冷却装置和刀片;

所述主轴变频电机的机架与X轴、Y轴、Z轴上的第一、第二、第三行走电机连接;

所述主轴变频电机的机架上翻转连接设有U型固定架,该U型固定架的凹陷部设置有第一激光扫描成像检测装置和激光垂直校准装置;

该U型固定架另一端通过校准行走机构和校准马达设有第二冷却装置、红外线测温装置、第二激光扫描成像检测装置和激光水平校准装置。

本发明的优点是:

本发明划片机的刀具冷却装置可以对刀片的两侧分别喷射冷却介质,冷却效率更高,冷却效果更好。

本发明划片机的具有刀片温度检测装置,实时监测刀片的温度,进而执行强冷控制,冷却效果得到了大大提高,刀片的使用寿命更长

本发明刀具表面磨损检测结构,实时监测刀具的磨损度,进而控制刀具的使用寿命,技术提醒更换刀片,以保证切割效果。

附图说明

图1为本发明的结构示意图。

图2为本发明的第二激光扫描检测装置结构示意图。

图3为本发明的第一冷却装置结构示意图。

图4为本发明的第二冷却装置结构示意图。

图5为本发明的控制主机流程图。

图6为本发明的磨损补偿流程图。

具体实施方式

结合说明书附图对本发明进一步详细说明。

如图1-6所示,一种能实时监控刀片温度和磨损度的划片机,划片机包括X轴1、Y轴2、Z轴3、主轴变频电机5及其机架4、第一冷却装置6、第二冷却装置9、红外线测温装置16、第一、第二激光扫描检测装置13、12;

所述X轴1上设有第一行走电机,Y轴2上设有第二行走电机,Z轴3上设有第三行走电机;

所述主轴变频电机5前端转动轴8依次固设有第一冷却装置6和刀片7;

所述主轴变频电机5的机架4与X轴1、Y轴2、Z轴3上的第一、第二、第三行走电机连接;

所述主轴变频电机5的机架4上翻转连接设有U型固定架15,该U型固定架15的凹部设置有第一激光扫描成像检测装置13和激光垂直校准装置14;

该U型固定架15另一端通过校准行走机构11和校准马达设有第二冷却装置9、红外线测温装置16、第二激光扫描成像检测装置12和激光水平校准装置10。

所述主轴变频电机5与控制主机17连接;X轴1、Y轴2、Z轴3上的第一、第二、第三行走电机与控制主机17连接;第一冷却装置6和第二冷却装置9与控制主机17连接;红外线测温装置16和第一、第二激光扫描成像检测装置13、12与控制主机17连接;激光水平校准装置10及校准马达与控制主机17连接。

所述第一冷却装置6为环盘喷洒结构,该环盘喷洒结构的直径小于刀片7直径,通过高压水管将冷水喷射到刀片7后背面上。

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