[发明专利]光束分析仪以及激光加工装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种测量激光的强度分布的光束分析仪(beam profiler)、具备光束分析仪的激光振荡器以及激光加工装置。

背景技术

已知如下一种技术：使用包括光电元件的光束分析仪来测量激光的强度分布，基于该强度分布来判断射出的激光是否存在异常(例如日本特开2010-137264号公报)。

在如上所述的光束分析仪中，对如下方面要求变高：使装置更简单，能够以更低的成本来判断激光的强度分布是否适当。

发明内容

在本发明的一个方式中，光束分析仪具备：部分反射镜；多个受光部，该多个受光部接收透过了部分反射镜的激光；以及多个激光强度传感器，该多个激光强度传感器分别安装于多个受光部，感知由该受光部接收到的激光的强度。多个受光部至少具有：第一受光部，其接收激光的激光照射区域中的包括激光的中心部的第一区域的光；以及第二受光部，其与第一受光部热绝缘，接收激光照射区域的与第一区域不同的第二区域的光。

激光强度传感器也可以包括热电偶、热电堆、热敏电阻或铂测温电阻体。激光强度传感器也可以包括应变计。第一受光部也可以是圆形构件。第二受光部也可以是被配置成与第一受光部同心的圆环构件。也可以是，第二受光部相对于第一受光部被定位成第二受光部的中心比第一受光部的中心靠近激光照射区域的外缘。

光束分析仪也可以还具备激光功率运算部，该激光功率运算部基于来自多个激光强度传感器的输出来计算由多个受光部接收到的激光的激光功率。光束分析仪也可以还具备激光功率判断部，该激光功率判断部判断激光功率是否处于预先决定的阈值的范围内。

激光功率运算部也可以计算来自多个激光强度传感器的输出之和。激光功率判断部也可以判断和是否处于预先决定的阈值的范围内。光束分析仪也可以还具备分布计算部，该分布计算部基于来自安装于第一受光部的激光强度传感器的第一输出和来自安装于第二受光部的激光强度传感器的第二输出，来计算激光的强度分布。

光束分析仪也可以还具备分布判断部，该分布判断部判断激光的强度分布是否处于预先决定的阈值的范围内。分布判断部也可以判断第一输出是否处于第一阈值的范围内，并且判断第二输出是否处于第二阈值的范围内。光束分析仪也可以还具备警告生成部，该警告生成部在由分布判断部判断为激光的强度分布不处于预先决定的阈值的范围内的情况下，生成针对用户的警告。

在本发明的其它方式中，激光振荡器具备射出激光的输出镜和上述的光束分析仪。光束分析仪的部分反射镜被配置成与输出镜相对。。在本发明的另一方式中，激光加工装置具备激光振荡器和上述的光束分析仪。光束分析仪的部分反射镜被配置在从激光振荡器射出的激光的光路上。激光振荡器也可以是上述的激光振荡器。

附图说明

本发明的上述或其它目的、特征以及优点通过参照附图来说明以下的优选实施方式会变得更明确。

图1表示本发明的一个实施方式所涉及的光束分析仪的框图，

图2A表示图1所示的激光检测部的前视图，

图2B表示图2A所示的激光检测部的后视图，

图2C表示图2A所示的激光检测部的侧方剖视图，

图3A是表示适当的激光的强度分布的例子(参考值分布)的图，

图3B是表示适当的激光的强度分布的例子(参考值分布)的图，

图3C是表示适当的激光的强度分布的例子(参考值分布)的图，

图4A是表示不适当的激光的强度分布的例子的图，

图4B是表示不适当的激光的强度分布的例子的图，

图5A表示图1所示的激光检测部的前视图，

图5B表示图5A所示的激光检测部的后视图，

图5C表示图5A所示的激光检测部的侧方剖视图，

图6A是表示不适当的激光的强度分布的例子的图，

图6B是表示不适当的激光的强度分布的例子的图，

图6C是表示不适当的激光的强度分布的例子的图，

图7A表示图1所示的激光检测部的前视图，

图7B表示图7A所示的激光检测部的后视图，

图7C表示图7A所示的激光检测部的侧方剖视图，

图8A表示图1所示的激光检测部的前视图，

图8B表示图8A所示的激光检测部的后视图，

图8C表示图8A所示的激光检测部的侧方剖视图，

图9表示本发明的一个实施方式所涉及的激光振荡器的框图，