[发明专利]技术夹层结构

说明书

技术领域

本发明涉及洁净技术，特别涉及一种技术夹层结构。

背景技术

精密化、高纯度加工通常在洁净厂房的洁净室内进行，以防止空气中的灰尘污染精密仪器、精密设备和产品，从而提升生产合格率和产品的质量。例如，在平板显示制造业中，需要保持生产车间内的空气悬浮微粒浓度在某个值以下，以达到相应的微粒清洁度级别。

图1显示了现有的一种洁净厂房100的结构。这种洁净厂房100包括洁净室20、位于洁净室下方的回风区25以及位于洁净室上方的技术夹层10。技术夹层10的结构一般呈盒形，由顶板12、底板11以及若干侧板13围合而成。顶板12设置进风口15、底板11设置下出风口14。通常，在下出风口14上设置过滤装置16。经过初步净化的空气从进风口15进入到技术夹层10，然后经过滤装置16进入洁净室20并在洁净室20内形成垂直单向流，最后通过设置有栅孔的底板进入回风区25而被回收。

为了防止空气中的尘埃在底板11的上表面沉积，通常会在顶板12和侧板13的连接处开设侧出风口18进行排空。但是，这样通常会在底板11与侧板13的连接处的角落形成紊流，进入该角落的空气难以排出，空气中夹带的灰尘颗粒在此处相互碰撞、相互吸附而沉积。长时间沉积的灰尘会间歇性地被紊流带入到下出风口14，从而造成洁净室20内的微粒清洁度降低。在清洁度级别要求非常高的洁净厂房内尤为明显。

发明内容

本发明所要解决的技术问题为减少技术夹层中的紊流，使得灰尘不容易在底板的上表面沉积，从而保持洁净室内的微粒洁净清洁度在较高的水平。

针对上述技术问题，本发明提出了一种技术夹层结构，其包括：设置有进风口的顶板；与顶板平行的且设置有下出风口的底板；设置在下出风口的下过滤装置；以及两端均分别连接顶板和底板的若干侧板，侧板还包括靠近底板的若干侧出风口，其中，侧板、顶板和底板围合成盒形结构。

在一个具体的实施例中，进风口位于顶板的中部，下出风口位于底板的中部。

在一个具体的实施例中，若干侧出风口均位于一个平行于底板的平面上。

在一个具体的实施例中，技术夹层结构还包括若干风量调节阀，各个风量调节阀对应设置在各个侧出风口内。

在一个具体的实施例中，远离进风口的风量调节阀的开口比靠近进风口的风量调节阀的开口大。

在一个具体的实施例中，技术夹层结构还包括设置有相互平行的若干条槽和透风口的盖板以及穿过条槽将盖板固定在侧板上的若干螺钉，盖板盖合在侧出气口上，在盖板分别向条槽所延伸的两个方向滑动时侧出气与透风口可以错开或对齐。

在一个具体的实施例中，盖板上设置有沿条槽的延伸方向依次排列的若干透风口，若干侧出风口沿条槽的延伸方向依次排列，各个透风口可以与各个出风口对应对齐。

在一个具体的实施例中，相邻两个侧出风口的距离大于侧出风口在条槽延伸方向的宽度。

在一个具体的实施例中，技术夹层结构还包括设置在进风口的上过滤装置。

在一个具体的实施例中，上过滤装置和/或下过滤装置为风机过滤机组。

从顶板的进风口送入空气时，技术夹层结构内的气压大于洁净室内的气压，一部分气流经过下过滤装置而进入到洁净室。同时，由于技术夹层结构内的气压大于侧出风口外侧的气压，另一部分空气从侧出风口送出，这部分空气在底板与侧板的连接处的形成向侧出风口流动的单向流，底板的边缘部分始终被该气流吹扫，灰尘不易在底板的边缘部分沉积。同时，由于形成了向侧出风口流动的单向流，消除了紊流，灰尘不容易沉积。另外，下过滤装置位于该单向流的上风侧，即便由于某些原因在侧出风口附近区域扬起了灰尘，这些灰尘也只会向下风侧流动并从侧出风口流出。由此来减少技术夹层中的紊流，使得灰尘不容易在底板的上表面沉积，从而保持洁净室内的微粒洁净清洁度在较高的水平。

附图说明

在下文中将基于实施例并参考附图来对本发明进行更详细的描述。其中：

图1显示了现有的一种洁净厂房的结构示意图；

图2显示了本发明的一种实施方式的洁净厂房的全剖主视示意图；

图3显示了侧出气口在完全封闭状态下的局部示意图；

图4显示了侧出气口在完全打开状态下的局部示意图；

图5显示了图2中的技术夹层结构的全剖俯视示意图。

在附图中，相同的部件使用相同的附图标记。附图并未按照实际的比例绘制。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明作进一步说明。