[发明专利]石墨烯触摸屏传感器的制造方法

权利要求书

1.一种石墨烯触摸屏传感器的制造方法，其特征在于，以转移有石墨烯薄膜的基底为对象，预先将电极印刷区的石墨烯薄膜去除，只保留石墨烯搭接区，所述搭接区为电极印刷区与石墨烯薄膜重合的区域，在去除了石墨烯薄膜的电极印刷区印刷上金属电极浆料，图案化后形成传感器。

2.根据权利要求1所述的石墨烯触摸屏传感器的制造方法，其特征在于，所述转移有石墨烯薄膜的基底中的基底为塑料或玻璃基底。

3.根据权利要求2所述的石墨烯触摸屏传感器的制造方法，其特征在于，所述制造方法具体包括以下步骤：

步骤一、以转移好石墨烯薄膜的基底为对象，以周围靶标为基准，采用图形剥离工艺将电极印刷区的石墨烯去除，显露出基底材料，仅保留石墨烯搭接区；

步骤二、对石墨烯薄膜和基底材料的表面进行清洁；

步骤三、利用丝网印刷机将金属电极浆料印刷至已被去除石墨烯的基底表面区域，并确保该金属电极浆料能够搭接到石墨烯边缘；

步骤四、对金属电极浆料进行烘烤形成金属电极区；

步骤五、以靶标为基准对金属电极区进行激光刻蚀图案化，即用激光扫线的方式得到线条型金属电极。

4.根据权利要求3所述的石墨烯触摸屏传感器的制造方法，其特征在于，所述石墨烯搭接区的宽度为0.1mm-1mm。

5.根据权利要求4所述的石墨烯触摸屏传感器的制造方法，其特征在于，所述石墨烯搭接区的宽度为0.3mm-0.5mm。

6.根据权利要求3所述的石墨烯触摸屏传感器的制造方法，其特征在于，所述步骤一中以转移好石墨烯薄膜的基底为对象，所述基底上转移的石墨烯薄膜层数为1-10层。

7.根据权利要求3所述的石墨烯触摸屏传感器的制造方法，其特征在于，所述步骤一中图形剥离工艺包括，激光直写、掩膜板结合等离子刻蚀和可剥胶预涂；所述激光直写即用激光直接将电极印刷区的石墨烯去除；所述掩膜板结合等离子刻蚀即在材料表面遮盖一块掩膜板，然后用等离子刻蚀掉没有掩膜板遮盖的区域的石墨烯；所述可剥胶预涂即预先在电极印刷区印刷可剥胶，烘干后转移石墨烯薄膜，然后将可剥胶揭掉就留下了没有石墨烯的电极印刷区。

8.根据权利要求3所述的石墨烯触摸屏传感器的制造方法，其特征在于，所述步骤三中的金属电极浆料包括金浆、银浆、铝银浆、银铜浆或铜浆。

9.根据权利要求3所述的石墨烯触摸屏传感器的制造方法，其特征在于，所述步骤四中烘烤的温度区间为80-230度，烘烤的时间区间为10-120min。

10.根据权利要求9所述的石墨烯触摸屏传感器的制造方法，其特征在于，所述步骤四中烘烤的温度区间为110-140度，烘烤的时间区间为30-60min。