[发明专利]激光剥离方法及用于在目标上引起激光剥离的系统

权利要求书

1.一种激光剥离方法，包括：

生成多个固态激光脉冲；

将所述多个固态激光脉冲变换为紫外频率；

在形状上将所述多个激光脉冲在垂直横向轴上的横向空间强度曲线调节为矩形，其中，沿着每个横向轴的形状对应于八阶或更高阶的超高斯；并且

将所述多个激光脉冲沿着平行于所述横向轴中的一个的方向在目标上进行扫描，以便在目标上产生激光剥离。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，矩形形状为方形形状。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，扫描的激光脉冲在所述目标处的空间范围彼此重叠小于20％。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，在所述垂直横向轴中的每个上的经调节的横向空间强度曲线对应于至少十二阶的超高斯。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，所述脉冲在所述目标处的扫描方向上的长度至少为1.5mm或更长。

6.根据权利要求1所述的方法，其中，传递到所述目标的所述激光脉冲每个都具有至少200mJ/cm²的脉冲积分通量。

7.根据权利要求1所述的方法，其中，传递到所述目标的所述脉冲的脉冲重复率为至少10kHz。

8.根据权利要求1所述的方法，其中，所述固态激光脉冲是利用固态盘形激光器而被生成的。

9.根据权利要求1所述的方法，其中，矩形脉冲的纵横比为5：1或更小。

10.一种用于在目标上引起激光剥离的系统，所述系统包括：

脉冲固态激光器，其用于产生具有为激光剥离所选定的激光脉冲参数的激光脉冲；

频率变换器，其用于接收所述激光脉冲并对所述激光脉冲的频率进行变换；

波束整形光学器件，其用于接收所述激光脉冲并对所述激光脉冲在垂直横向轴上的横向强度曲线进行调节，使得所述横向强度曲线的形状为矩形并且使得所述横向强度曲线在每个横向轴上的形状对应于八阶或更高阶的超高斯；以及

扫描光学器件，其用于将经空间上调节的激光脉冲沿着平行于所述横向轴中的一个的方向指引到所述目标，以便在所述目标上引起激光剥离，

其中，所述频率变换器能够将所述激光脉冲的所述频率变换为紫外频率。

11.根据权利要求10所述的系统，其中，所述矩形形状为正方形形状。

12.根据权利要求10所述的系统，其中，所述矩形形状具有5：1或更小的纵横比。

13.根据权利要求10所述的系统，其中，光脉冲在目标表面处的扫描方向上的长度为1.5mm或更长。

14.根据权利要求10所述的系统，其中，所述激光脉冲在目标表面处具有200mJ/cm²或更大的脉冲积分通量。

15.根据权利要求10所述的系统，其中，所述脉冲固态激光器为盘形激光器。

16.根据权利要求10所述的系统，其中，所述脉冲固态激光器为棒形激光器。

17.根据权利要求10所述的系统，其中，在所述垂直横向轴中的每个上的经调节的横向空间强度曲线对应于至少十二阶的超高斯。

18.根据权利要求10所述的系统，其中，在垂直横向轴中的每个上的经调节的横向空间强度曲线对应于至少十四阶的超高斯。

19.根据权利要求10所述的系统，其中，所述激光脉冲以至少10kHz的脉冲重复率被提供到目标表面。