[发明专利]应用于炉管设备一致性分析的查询系统及查询方法

说明书

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，特别涉及一种应用于炉管设备一致性分析的的查询系统及查询方法。

背景技术

在项目研发阶段，当产品发生异常时，工艺整合工程师均需要对产品中每一片晶圆经过的工艺机台/站点(腔体)信息进行汇总分析，以确定异常是否由某些特定机台/站点(腔体)造成，这种分析通常称为一致性分析(commonality analysis)。目前，一致性分析虽然可以由商业软件，如ACE系统完成，但ACE系统仅能对晶圆经过的特定站点查询，无法查询所有的站点(腔体)；此外，ACE系统也仅能查询整个组批的晶圆的信息，对该组批晶圆中每个批次的确切信息也无法查询。因此，在进行一致性分析时，通常需要由工艺整合工程师提出需求，由工艺工程师在机台上或在机台状况监控系统(FDC系统)中逐批逐腔体查看日志，然后手动填写表格，最终得到每一片晶圆经过的工艺机台/站点信息。这么做无疑将大幅降低分析效率，而且人工输入也容易产生错误信息。

另一方面，特别是对于炉管设备机台，因为炉管设备中不同位置的晶圆处理状况是不同的，因此仅查询出每组批晶圆所经过的炉管设备机台无法直观了解到炉管设备的具体异常情况。

因此，需要提供一种新的设计以应用于炉管设备的一致性分析。

发明内容

本发明的主要目的旨在提供一种应用于炉管设备一致性分析的查询系统和查询方法，以能高效和准确地对晶圆所经过的炉管设备/腔体信息进行汇总，了解炉管设备的异常情况。

为达成上述目的，本发明提供一种应用于炉管设备一致性分析的查询系统，包括：据库，用于记录各所述炉管设备内全部批次的晶圆所经过的事件信息以及在各所述炉管设备中的位置信息；界面生成模块，用于提供查询界面以输入查询条件；查询模块，用于根据所述查询条件访问所述数据库以在所述数据库记录的信息中执行查询操作；以及报表生成模块，根据查询结果生成第一报表和第二报表，所述第一报表记录符合所述查询条件的晶圆的事件信息以及在其所处炉管设备中的位置信息，所述第二报表记录符合所述查询条件的晶圆所处的炉管设备内全部批次的晶圆的位置信息。

优选地，所述事件信息包括晶圆基本信息、炉管设备机台信息和工艺步骤信息；其中所述晶圆基本信息包括产品品名信息、批次信息和晶圆生产线流程信息；所述炉管设备机台信息包括炉管设备编号信息、炉管设备跑货信息、炉管设备运行时间信息和炉管设备的腔体编号信息；所述工艺步骤信息至少包括工艺菜单信息。

优选地，所述查询条件至少包括炉管设备查询条件和处理时间查询条件。

优选地，所述查询条件还包括晶圆批次查询条件、产品品名查询条件、工艺菜单查询条件至少其中之一。

优选地，所述查询模块验证所述查询条件是否包含炉管设备查询条件和处理时间查询条件，当所述查询条件包含炉管设备查询条件和处理时间查询条件时，所述查询模块执行查询操作。

本发明还提供了一种应用于炉管设备一致性分析的查询方法，包括：记录各所述炉管设备内全部批次的晶圆所经过的事件信息以及在各所述炉管设备中的位置信息；提供查询界面以输入查询条件；根据所述查询条件在所述记录的信息中执行查询操作；以及根据查询结果生成第一报表和第二报表，所述第一报表记录符合所述查询条件的晶圆的事件信息以及在其所处炉管设备中的位置信息，所述第二报表记录符合所述查询条件的晶圆所处的炉管设备内全部批次的晶圆的位置信息。

优选地，所述事件信息包括晶圆基本信息、炉管设备机台信息和工艺步骤信息；其中所述晶圆基本信息包括产品品名信息、批次信息和晶圆生产线流程信息；所述炉管设备机台信息包括炉管设备编号信息、炉管设备跑货信息、炉管设备运行时间信息和炉管设备的腔体编号信息；所述工艺步骤信息至少包括工艺菜单信息。

优选地，所述查询条件至少包括炉管设备查询条件和处理时间查询条件。

优选地，所述查询条件还包括晶圆批次查询条件、产品品名查询条件、工艺菜单查询条件至少其中之一。

优选地，根据所述查询条件在所述记录的信息中执行查询操作的步骤包括：验证所述查询条件是否包含炉管设备查询条件和处理时间查询条件；以及当所述查询条件包含炉管设备查询条件和处理时间查询条件时，执行查询操作。