[发明专利]一种高数值孔径物镜下产生去偏振的最小临界入射角度的确定方法有效

专利信息
申请号: 201510119540.6 申请日: 2015-03-18
公开(公告)号: CN104777623B 公开(公告)日: 2017-03-01
发明(设计)人: 洪昕;刘欢 申请(专利权)人: 大连理工大学
主分类号: G02B27/28 分类号: G02B27/28
代理公司: 大连理工大学专利中心21200 代理人: 赵连明,梅洪玉
地址: 116024 辽*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 一种 数值孔径 物镜 产生 偏振 最小 临界 入射 角度 确定 方法
【权利要求书】:

1.一种高数值孔径物镜下产生去偏振的最小临界入射角度的确定方法,其特征在于以下步骤:

步骤1:根据数值孔径的定义公式:NA=nsinα,获取孔径半角的值;

其中,α是孔径半角;NA是高数值孔径物镜数值孔径的值,NA>1;n是高数值孔径物镜工作介质的折射率;

步骤2:根据德拜矢量积分公式,计算在焦点区域任一点处P(x,y)的电场分布。x线偏振光入射时,电场分布公式为:

y线偏振光入射时,电场分布公式为:

其中θ是线偏振光入射角,是偏振光方位角,A为常数值,令θmax等于步骤1中孔径半角α的值,然后获取光场各个分量的峰值强度比率得到孔径半角范围内的去偏振转换率;

步骤3:将步骤2中线偏振光入射角的范围区间[0,θmax]分成n等分区间,即其中1≤i≤n,按照步骤2依次获取每个区间下光场各个分量的峰值强度比率,获取每个区间下的去偏振转换率;

步骤4:将步骤3获取的每个区间的去偏振转换率与步骤2中获取的去偏振转换率进行比较,如果前者大于后者,则该区间上限值即为高数值孔径物镜下产生去偏振的最小临界入射角度。

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