[发明专利]柔性基板检测装置

权利要求书

1.一种柔性基板检测装置，用于对柔性基板进行检测，所述柔性基板检测装置具有：

输送路径，用于连续地输送由多个单位基板排列配置的柔性基板；和

检测部机构，所述检测部机构具有第一检测部、第二检测部、第一拍摄部和第二拍摄部，所述检测部机构能使用于检测在所述输送路径上输送的所述柔性基板的第一检测部和第二检测部，接近/远离所述柔性基板，

其中，所述输送路径包含向垂直向上和垂直向下中的至少一个方向输送所述柔性基板的纵向输送部分，

所述检测部机构对于在所述纵向输送部分所输送的所述柔性基板，以垂直该柔性基板的方向移动所述第一检测部和第二检测部，从而使所述第一检测部和第二检测部接近/远离所述柔性基板，

其中，第一检测部配置在于所述纵向输送部分上所输送的所述柔性基板的厚度方向的一侧；

第二检测部配置在所述柔性基板的厚度方向的另一侧；

第一拍摄部配置在所述柔性基板的厚度方向的一侧；和

第二拍摄部配置在所述柔性基板的厚度方向的另一侧，

所述第一拍摄部能拍摄所述第二检测部，所述第二拍摄部能拍摄所述第一检测部。

2.根据权利要求1所述的柔性基板检测装置，其中，

所述检测部机构具有作为所述第一检测部和第二检测部的夹具，该夹具具有能与所述柔性基板导通接触的多个探针，

所述检测部机构使所述第一检测部和第二检测部接触/远离所述柔性基板。

3.根据权利要求2所述的柔性基板检测装置，其中，

所述夹具包含在所述柔性基板的厚度方向的一侧面能导通接触的第一夹具，和在所述柔性基板的厚度方向的另一侧面能导通接触的第二夹具，

在由所述第一夹具和所述第二夹具夹住所述柔性基板的状态下，能检测所述柔性基板。

4.根据权利要求2或3所述的柔性基板检测装置，其中，

所述检测部机构还具有：

第一移动机构，能使所述夹具在平行于所述柔性基板的面上移动；

第二移动机构，能使所述夹具向所述柔性基板的厚度方向平行移动；和

姿势改变机构，能改变在平行于所述柔性基板的面上的所述夹具的倾斜度。

5.根据权利要求1所述的柔性基板检测装置，其中，

所述检测部机构具有作为所述第一检测部和第二检测部的用于测定所述柔性基板的检测部位的光学单元，

所述检测部机构使所述第一检测部和第二检测部接近/远离所述柔性基板，由此保持所述第一检测部和所述柔性基板的检测距离以及第二检测部和所述柔性基板的检测距离。

6.根据权利要求5所述的柔性基板检测装置，其中，

所述检测部机构具有作为所述第一检测部的用于测定所述柔性基板的厚度方向的一侧面检测部位的第一光学单元，和作为所述第二检测部的用于测定所述柔性基板的厚度方向的另一侧面检测部位的第二光学单元，

其中，所述第一光学单元和所述第二光学单元是以相互不同的高度配置。

7.根据权利要求1至3、5、6中的任一项所述的柔性基板检测装置，其中，

第一拍摄部和第二拍摄部能拍摄所述柔性基板，

所述检测部机构以所述第一拍摄部和第二拍摄部拍摄所述柔性基板的拍摄信息为基础，对所述柔性基板对齐所述第一检测部和第二检测部的位置。

8.根据权利要求1至3、5、6中的任一项所述的柔性基板检测装置，其中，具有

供应部，用于设置连续供应所述柔性基板的基板卷。

9.根据权利要求1至3、5、6中的任一项所述的柔性基板检测装置，其中，

能回收异物的异物回收部设置在比所述第一检测部和第二检测部更低的位置上。

10.根据权利要求1至3、5、6中的任一项所述的柔性基板检测装置，其中，

由负压能吸附所述柔性基板的吸附导向件配置在所述纵向输送部分。