[发明专利]一种多晶硅铸锭的制备方法

权利要求书

1.一种多晶硅铸锭的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)在去离子水中加入粘结剂、分散剂和纯度大于99.9％、粒径为1～5000μm的硅颗粒，搅拌均匀得到浆料，其中硅颗粒占浆料的质量百分数不低于50％；

(2)在内表面设有氮化硅涂层的石英坩埚内，将所述浆料喷涂、辊涂或刷涂在氮化硅涂层表面，形成1～10mm的浆料层，干燥得到硅涂层坩埚；

(3)将所述硅涂层坩埚装上硅料，送入多晶硅铸锭炉，经抽真空后，对硅料加热，硅料全部熔化后，使硅料熔液降温进行多晶硅生长，多晶硅生长完成后，经退火冷却得到多晶硅铸锭。

2.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)中，在去离子水中还加入纯度超过99.99％、粒径为0.1～10μm氮化硅粉，其中氮化硅粉占浆料的质量百分数不超过20％。

3.如权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，所述硅颗粒的纯度大于99.999％，粒径为100～500μm。

4.如权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，所述粘结剂选自硅溶胶、硅酸、聚乙烯醇和丙烯酸酯中的一种或几种。

5.如权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，所述分散剂选自单元醇、多元醇、甲基纤维素、乙基纤维素、乙酸纤维素、丙基纤维素和聚环氧乙烷中的一种或几种。

6.如权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(3)中，在将所述硅涂层坩埚装上硅料之前，先在硅涂层坩埚底部铺设多晶硅颗粒或碎片。