[发明专利]激光晶化装置

权利要求书

1.一种激光晶化装置，包括：

激光发生器，发生入射激光光束；

光学系统，对所述入射激光光束进行光转换而制造射出激光光束；以及

工作台，搭载有对象基板，该对象基板形成有被所述射出激光光束照射而被激光晶化的对象薄膜，

所述光学系统包括：

脉冲扩展及上下翻转模块，增加所述入射激光光束的脉冲持续时间的同时上下翻转所述入射激光光束的脉冲形状，

所述脉冲扩展及上下翻转模块包括：

分束器，反射一部分光束而制造反射光束且使所述光束的剩余部分光束透过而制造透过光束；

第一镜子及第二镜子，使所述透过光束的全部透过光束依次反射而再入射到所述分束器，

将作为在所述分束器反射的所述反射光束的第一射出光束、所述透过光束沿依次在所述第一镜子及第二镜子上反射而再入射到所述分束器的环路路径行进之后射出的第二射出光束混合，从而制造射出激光光束，

所述透过光束在所述环路路径上行进且上下翻转。

2.如权利要求1所述的激光晶化装置，其中，

所述分束器对所述入射激光光束的50％进行反射而制造反射光束，并使所述入射激光光束的剩余的50％透过而制造透过光束。

3.如权利要求2所述的激光晶化装置，其中，

所述第一镜子使透过所述分束器的透过光束反射而再入射到所述第二镜子，

所述第二镜子使在所述第一镜子反射的透过光束反射而再入射到所述分束器。

4.如权利要求3所述的激光晶化装置，其中，再入射到所述分束器的透过光束的50％透过所述分束器而成为所述第二射出光束，再入射到所述分束器的透过光束的剩余的50％在所述分束器反射而再次沿所述环路路径行进。

5.如权利要求2所述的激光晶化装置，其中，所述环路路径无限重复而将多个所述第二射出光束依次射出。

6.如权利要求1所述的激光晶化装置，其中，还包括：

脉冲扩展及左右翻转模块，增加所述入射激光光束的脉冲持续时间的同时左右翻转所述入射激光光束的脉冲形状。