[发明专利]涂敷装置以及除泡方法

说明书

技术领域

本发明涉及将具有非牛顿性的膏状的高粘度液体涂敷在被涂敷物体上的涂敷装置以及从这样的高粘度液体中除去气泡的除泡方法。

背景技术

作为用于在玻璃基板、太阳能电池基板等基板表面上形成布线图案，或在集电体表面上形成活性物质层的技术，将含有布线材料或活性物质材料的膏状的液体涂敷在基板等上。例如，JP特开2013-004400号公报中记载的涂敷装置通过挤压涂敷(die coating)方式将含有活性物质材料以及导电材料的膏涂敷在支撑体上，来制造电池用电极。

在该技术中，若在膏状的液体中混入气泡，则存在在压送液体时气泡造成压力损失使流量不稳定或者在形成的图案上产生涂敷缺陷等的问题。因此，需要从膏中除去气泡。在上述文献中没有涉及关于膏中含有气泡的问题。

另一方面，作为从液体除去气泡的一般的除泡技术，例如，存在在大气压下或减压环境下静置保管液体，使液体中的气泡移动至液面将其消除的方法，或者借助离心力除去气泡的离心除泡法等。但是，在具有非牛顿性的高粘度的膏状液体中，气泡移动需要很长时间。尤其，例如在剪切速度为10s^-1使为100Pa·s以上的高粘度的液体中，上述技术的除泡作用实际上不能够实现。另外，还存在通过加热促进气泡脱离的技术，但是在加热可能使液体变质的情况下不能够使用加热的方法。因此，希望存在能够对这样的高粘度的液体有效进行除泡的技术，但是至今没有提出这样的技术。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的在于提供一种能够从具有非牛顿性的膏状的高粘度液体有效除去气泡的技术。

本发明的一个方式，为了达成上述目的，具有：储存部，用于储存具有非牛顿性的膏状的液体，流通管，从所述储存部送出的所述液体在该流通管的内部流通，涂敷喷嘴，与所述流通管连接，喷出所述液体来将所述液体涂敷在被涂敷物体上；在所述流通管的内壁中的一部分上设置有气泡捕捉部，所述气泡捕捉部由对所述液体的润湿性比周围的内壁材料的对所述液体的润湿性低的材料形成，所述气泡捕捉部用于捕捉所述液体中含有的气泡。

根据本申请的发明人的见解，在使具有非牛顿性的膏状的高粘度液体在管内流通时，液体内含有的气泡随着液体的流通逐渐接近管的内壁，最终沿着管壁向下游侧流动。详细后述，考虑到，对于在管内流通的非牛顿性液体，具有接近管壁的部分与接近管轴线的部分相比流速变慢而且粘度小的特性，这样的液流对气泡作用从管轴线朝向管壁的方向上的力。

另外此时，本申请的发明人发现，若在管壁的一部分具有对液体的润湿性比管壁的其它部分低的部分，则与其他部位相比在该部位附着更多的气泡。考虑这是因为，根据该部位的被湿润的难度，液体有从该表面离开的倾向，与该部位的表面和液体直接接触相比，两者之间进入气泡的状态为更稳定的状态。

本发明利用该现象。具体地说，在使液体流通的流通管的内壁的一部分设置由润湿性低的材料形成的气泡捕捉部。随着液体的流通而向管壁移动的气泡被比周围部分的润湿性低的气泡捕捉部引导并被捕捉。因此，向气泡捕捉部的液体的流通方向上的下游侧供给降低了含有的气泡的液体。

这样，根据本发明，即使是具有非牛顿性的膏状的高粘度液体，也能够有效地除去气泡。因此，在本发明的涂敷装置中，除去气泡的液体供给至涂敷喷嘴，被涂敷在被涂敷物上，由此能够以稳定的涂敷量进行没有缺陷的涂敷。

另外，本发明的其他方式，用于从具有非牛顿性的膏状的液体除去气泡的除泡方法，为了达到上述目的，使所述液体在流通管中流通，在所述流通管的内壁中的一部分设置有气泡捕捉部，该气泡捕捉部由对所述液体的润湿性比周围的内壁材料的对所述液体的润湿性低的材料形成，使所述液体中的气泡附着在该气泡捕捉部上，来除去所述气泡。

在这样构成的发明中，基于上述的原理，使液体在流通管中流通，来使含有的气泡接近管壁，使气泡附着在局部对液体的润湿性低的气泡捕捉部来被捕捉。由此，能够有效降低向捕捉部的在液体的流通方向上的下游侧送出的液体中的气泡的量。

此时，例如，通过使液体在流通管内流通，使附着在气泡捕捉部上的气泡沿着流通管的内壁向在液体的流通方向上的下游侧移动，使液体和气泡一起露出在环境气体中，来使气泡消失。根据这样的结构，不是仅仅将气泡放置，而使被捕捉的气泡沿着管壁移动来使其消失，从而能够降低液体流通的整个系统中的气泡的量。

根据本发明，通过使液体在流通管内流通，使液体中的气泡向管的内壁移动，通过对液体的润湿性低的气泡捕捉部捕捉气泡。由此，能够有效除去流通管内的气泡。

附图说明