[发明专利]一种针对扫描探针显微镜的自动化图像畸变评估方法

权利要求书

1.一种针对扫描探针显微镜的自动化图像畸变评估方法，包括以下步骤：

步骤1，使用扫描探针显微镜采用接触或轻敲方式扫描得到原始图像，记为F1，对原始图像进行截取，使得截取后的图像宽度为光栅周期宽度的整数倍，记截取后图像为F2；

其特征在于，

步骤2，对截取后图像F2进行频域滤波：将图像F2进行图像傅里叶变换后幅值次大值的1/8倍数作为滤波阈值进行滤波，图像F2傅里叶变换后幅值小于滤波阈值的部分全部舍弃，滤波后图像记为F3；

步骤3，对滤波后图像F3进行评价：将图像F3进行傅里叶变换后幅值次大值的1/4倍数作为评价阈值，图像F3傅里叶变换后幅值大于评价阈值部分之和与幅值小于评价阈值部分之和的比值作为最终评估指标。

2.根据权利要求1所述一种针对扫描探针显微镜的自动化图像畸变评估方法，其特征在于，所述步骤1具体为：记扫描得到的原始图像宽度为L₁，截取方法为：将原始图像进行傅里叶变换；构造指标其中R₁为图像傅里叶变换后幅值大于次大值的部分，R₂为图像傅里叶变换后幅值小于次大值的部分；设定截取宽度寻找范围为至L₁，将截取宽度寻找范围为至L₁内所有宽度截取后的图像均进行一次指标Index₁的计算，选取Index₁最大值所对应的宽度作为最终截取图像宽度，记为L₂，记截取后图像为F2。

3.根据权利要求2所述一种针对扫描探针显微镜的自动化图像畸变评估方法，其特征在于，所述步骤2具体为：将图像F2进行傅里叶变换，变换后以幅值次大值的1/8倍数作为滤波阈值进行滤波，图像F2傅里叶变换后幅值小于阈值的部分视为噪声全部舍弃。

4.根据权利要求3所述一种针对扫描探针显微镜的自动化图像畸变评估方法，其特征在于，所述步骤3具体为：以图像F3的傅里叶变换后幅值次大值的1/4倍数作为评价阈值，图像F3的傅里叶变换后幅值大于评价阈值部分之和与幅值小于评价阈值部分之和的比值作为最终评价指标，即最终评价指标为公式其中R₃为图像F3经过傅里叶变换后幅值大于评价阈值的部分，R₄为图像F3经过傅里叶变换后幅值小于评价阈值的部分。