[发明专利]容器运送设备

权利要求书

1.一种容器运送设备，具备：移载部，其具备支撑体和移动操作部，所述支撑体从下方支撑在前表面配置有用于取放半导体基板的开口的容器，所述移动操作部操作前述支撑体至少沿上下方向移动；板状的载置体，作为前述容器被前述移载部移载的移载对象部位；

前述支撑体具备支撑体侧支撑部，在将前述容器定位在该支撑体上的移载用位置的状态下支撑该容器的底面；

前述载置体具备俯视为凹状的缺口部，和分散配置在俯视下沿着前述缺口部的周缘的方向上的不同位置的多个载置体侧支撑部，在通过支撑着前述容器的前述支撑体的一部分朝向下方通过前述缺口部，由前述多个载置体侧支撑部将前述容器相对于前述载置体在横宽方向上定位的状态下承接支撑前述容器的底面，

其特征在于，

前述支撑体具备连接前述移动操作部的基部，和从前述基部沿水平方向突出、在前述容器的移载时沿上下方向通过前述缺口部的突出部，并且以前述容器的从前方朝向后方的方向沿着前述突出部的突出方向的姿势支撑前述容器，

前述突出部的横宽与前述容器的横宽相比较窄地形成，

作为前述容器，存在小容器和横宽方向与前述小容器相比宽幅地构成的大容器，

前述小容器在其底面上具备分散配置的三个小容器用被支撑部，前述三个小容器用被支撑部由一对的小容器用前方侧被支撑部和一个小容器用后方侧被支撑部构成，所述一对的小容器用前方侧被支撑部在前述小容器的横宽方向上分离，所述一个小容器用后方侧被支撑部位于前述小容器的横宽方向中央部，并且相对于前述一对的小容器用前方侧被支撑部向前述小容器的后方一侧分离的位置，

前述大容器在其底面上具备分散配置的三个大容器用被支撑部，前述三个大容器用被支撑部由一对的大容器用前方侧被支撑部和一个大容器用后方侧被支撑部构成，所述一对的大容器用前方侧被支撑部在前述大容器的横宽方向上分离，所述一个大容器用后方侧被支撑部位于前述大容器的横宽方向中央部，并且相对于前述一对的大容器用前方侧被支撑部向前述大容器的后方一侧分离的位置，

前述支撑体支撑着前述小容器的状态下的前述一对的小容器用前方侧被支撑部相比前述支撑体支撑着前述大容器的状态下的前述一对的大容器用前方侧被支撑部，俯视下在前述支撑体的横宽方向上位于内方一侧，

前述支撑体作为前述支撑体侧支撑部具备支撑前述小容器的底面上的前述三个小容器用被支撑部的三个支撑体侧小容器用支撑部，和支撑前述大容器的底面上的外周部的前述基部一侧的缘部的支撑体侧缘部支撑部。

2.如权利要求1所述的容器运送设备，其特征在于，

前述支撑体侧缘部支撑部沿前述支撑体的横宽方向分散地配置有多个。

3.如权利要求2所述的容器运送设备，其特征在于，

前述多个支撑体侧缘部支撑部设成支撑前述大容器的底面的前述基部一侧的缘部上相对于前述突出部位于前述支撑体的横宽方向的两侧的部分。

4.如权利要求1所述的容器运送设备，其特征在于，

在前述突出部的顶端部设有支撑前述大容器上的前述大容器用后方侧被支撑部的支撑体侧大容器用支撑部，

前述支撑体以前述支撑体侧缘部支撑部和前述支撑体侧大容器用支撑部支撑前述大容器。

5.如权利要求4所述的容器运送设备，其特征在于，

前述支撑体侧缘部支撑部以及前述支撑体侧大容器用支撑部以前述大容器的底面与前述支撑体侧小容器用支撑部的上端相比位于上方的高度支撑前述大容器。