[发明专利]切削装置有效

专利信息
申请号: 201510100376.4 申请日: 2015-03-06
公开(公告)号: CN104889870B 公开(公告)日: 2019-06-14
发明(设计)人: 久保雅裕;中西优尔;和泉邦治 申请(专利权)人: 株式会社迪思科
主分类号: B24B27/06 分类号: B24B27/06;B24B49/00;B24B51/00;H01L21/67
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 李辉;黄纶伟
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 切削 装置
【权利要求书】:

1.一种切削装置,该切削装置包括:卡盘工作台,其保持被加工物;和切削构件,其具备具有切削刃的切削刀具,具有切削刃的该切削刀具对保持于该卡盘工作台上的被加工物进行切削,

该切削构件具备:主轴,其能够旋转地支承于主轴外壳;和第1法兰部件及第2法兰部件,它们安装于该主轴的端部,并夹持具有切削刃的该切削刀具,

所述切削装置的特征在于,

所述切削装置具备:

振动信号产生构件,其产生与具有切削刃的该切削刀具的振动相对应的振动信号;和

控制构件,其根据由该振动信号产生构件产生的振动信号来判定具有切削刃的该切削刀具的状态,

该振动信号产生构件由下述部分构成:

超声波振子,其配设在该第1法兰部件上,产生与该振动信号相当的电压,所述振动信号与具有切削刃的该切削刀具的振动相对应;和

传送构件,其与该超声波振子连接,将该电压传送至该控制构件,

该传送构件包括:第1线圈构件,其安装于该第1法兰部件;和第2线圈构件,其与该第1线圈构件隔开间隔地对置,并且配置在该主轴外壳上,

该控制构件具备:

存储构件,其存储基准信号和判定对象信号,所述基准信号对应于因与该主轴的旋转相伴随的具有切削刃的该切削刀具的振动而引起的振动信号,所述判定对象信号对应于因与被加工物的切削相伴随的具有切削刃的该切削刀具的振动而引起的振动信号;和

比较判定构件,其基于从该判定对象信号去除该基准信号所得到的信号来判定具有切削刃的该切削刀具的状态,

在从所述主轴的轴心的方向观察时,所述超声波振子配置在与所述第1线圈构件重合的位置,并且所述切削刀具被所述第1法兰部件和所述第2法兰部件夹持,由此高精度地检测出所述切削刀具的振动。

2.根据权利要求1所述的切削装置,其特征在于,

所述控制构件还具备解析构件,所述解析构件对与所述振动信号的时间变化相当的波形进行傅里叶变换,将振动分解成频率成分。

3.根据权利要求1或权利要求2所述的切削装置,其特征在于,

所述存储构件存储异常判定信号,所述异常判定信号与因在切削中产生异常时的所述切削刀具的振动而引起的振动信号相对应,

所述比较判定构件通过将从所述判定对象信号去除所述基准信号所得到的信号与该异常判定信号进行比较,来判定切削有无异常。

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