[发明专利]连续铂层的无电沉积

权利要求书

1.一种用于铂的无电沉积的溶液，其包括：

Ti³⁺离子；

Pt⁴⁺离子；和

NH₄⁺离子以及柠檬酸盐离子或葡糖酸盐离子或酒石酸盐离子。

2.根据权利要求1所述的溶液，其中所述溶液具有介于6和10之间的pH

值，包含端值。

3.根据权利要求2所述的溶液，其还包括Cl^-离子。

4.根据权利要求3所述的溶液，其中，所述Ti³⁺离子的浓度为25mM至75mM。

5.根据权利要求1所述的溶液，其中Ti³⁺与Pt⁴⁺离子的比例介于100:1至2:1之间。

6.根据权利要求1所述的溶液，其中所述溶液是没有硼、磷、肼和甲醛的。

7.一种用于提供含铂层的无电镀敷的方法，所述方法包括：

提供Ti³⁺稳定溶液；

提供Pt⁴⁺稳定溶液；

将所述Ti³⁺稳定溶液的流与所述Pt⁴⁺稳定溶液的流以及水混合以提供所述Ti³⁺稳定溶液与所述Pt⁴⁺稳定溶液的稀释的混合物；以及

将衬底暴露于所述Ti³⁺稳定溶液与所述Pt⁴⁺稳定溶液的所述稀释的混合物。

8.根据权利要求7所述的方法，其中将所述衬底暴露于所述Ti³⁺稳定溶液与所述Pt⁴⁺稳定溶液的所述稀释的混合物，包括：

提供介于10℃至40℃之间的溶液温度，包含端值；以及

提供介于6至10之间的pH值，包含端值。

9.根据权利要求8所述的方法，其中将所述衬底暴露于所述Ti³⁺稳定溶液与所述Pt⁴⁺稳定溶液的所述稀释的混合物提供浓度介于25mM至75mM之间的Ti³⁺。

10.根据权利要求9所述的方法，其还包括处置掉所述稀释的混合物。

11.根据权利要求10所述的方法，其中所述含铂层是99.9％的纯度的铂。

12.根据权利要求9所述的方法，其还包括重新激活所述稀释的混合物。

13.根据权利要求9所述的方法，其中所述Ti³⁺稳定溶液包括TiCl₃和HCl的溶液。

14.根据权利要求13所述的方法，其中所述Pt⁴⁺稳定溶液包括H₂PtCl₆和氢氧化铵和葡糖酸三钠或葡糖酸的溶液。

15.根据权利要求14所述的方法，其中所述Ti³⁺稳定溶液进一步包括

NH₄OH。

16.根据权利要求15所述的方法，其中所述Pt⁴⁺稳定溶液具有超过一个月的保质期。

17.根据权利要求16所述的方法，其中所述Ti³⁺稳定溶液具有超过一个月的保质期。

18.根据权利要求15所述的方法，其中所述稀释的混合物是没有硼、磷、肼和甲醛的。

19.根据权利要求7所述的方法，其中所述稀释的混合物是没有硼、磷、肼和甲醛的。

20.一种用于铂的无电沉积的溶液，其包括：

Ti³⁺离子；

Pt⁴⁺离子，其中Ti³⁺比Pt⁴⁺离子的比例介于100:1至2:1之间；和

NH₄⁺离子以及柠檬酸盐离子或葡糖酸盐离子或酒石酸盐离子。