[发明专利]一种MEMS器件及其制作方法有效
| 申请号： | 201510084495.5 | 申请日： | 2015-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN105984836B | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 郑超;李卫刚 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B7/00 |
| 代理公司： | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人： | 董巍;高伟 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 mems 器件 及其 制作方法 | ||
【说明书】：
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