[发明专利]用于微形貌测量的磁悬浮触针式位移传感器

权利要求书

1.用于微形貌测量的磁悬浮触针式位移传感器，包括测量探头、探头支承座、读数传感器、信号处理控制装置；

所述的测量探头包括用于划过被测物表面的触针（4），触针安装在悬浮式探杆（3）下端；所述的探杆为磁体，探杆设置在探头支承座（2）内，并与探头支承座间留有间隙；

所述的探头支承座为电磁体；

读数传感器与测量探头对应，并读取测量探头的位置信息，读数传感器与信号处理控制装置（7）连接；

信号处理控制装置与探头支承座连接，用于控制探头支承座。

2.如权利要求1所述的用于微形貌测量的磁悬浮触针式位移传感器，其特征是，所述的探头支承座为电磁铁，其中电磁铁线圈与信号处理控制装置连接；信号处理控制装置为电磁铁线圈提供所需电源。

3.如权利要求1所述的用于微形貌测量的磁悬浮触针式位移传感器，其特征是，所述的读数传感器为光栅尺，其中光栅尺的读数头（5-2）设置在固定基座上，光栅尺的动尺（5-1）设置在探杆上。

4.如权利要求1所述的用于微形貌测量的磁悬浮触针式位移传感器，其特征是，所述的探杆穿过探头支承座，并在探杆的上端设置动尺。

5.如权利要求1所述的用于微形貌测量的磁悬浮触针式位移传感器，其特征是，所述的探杆为空心结构，其表面为磁化材料，在探杆的下端设置触针。

6.如权利要求1所述的用于微形貌测量的磁悬浮触针式位移传感器，其特征是，所述的探头支承座包括外部的固定基座（1），在固定基座（1）内设置电磁线圈，所述的探杆穿过固定基座及电磁线圈，并活动设置在固定基座及电磁线圈中。